研究課題
若手研究(B)
レーザ変位計（相対変位計）ではレーザ光が断続すると計測の連続性が失われ、位置のリセットが必要になるという問題がある。そこで、絶対距離計を相対変位計と同時・同光路で並行動作させデータを同期して取得し、それらデータから信号処理により、レーザ光が断続した場合にでも変位の連続性を再構成する方式を考案した。これは別研究で発明した高速高精度な位相読み出しを行えるデジタル位相計を中核として利用したものである。
振動計測
半導体製造装置や精密機械加工等、精密ものづくりの場面において使われる一般的なレーザ変位計はナノメータ以下を計測できる高分解能を誇るものの、レーザ光を遮ってはいけない（計測のロバスト性が低い）という課題がある。本課題で考案したシステムはこの課題を解決できるので、工場の製造現場などの障害物が多い環境で使用することができるようになり、大きな波及効果があると考えている。
