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2018 年度 実施状況報告書

高次高調波を利用した超精密形状計測法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 17K18821
研究機関東京大学

研究代表者

三村 秀和  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (30362651)

研究期間 (年度) 2017-06-30 – 2020-03-31
キーワードX線ミラー / 波面計測 / 位相回復法 / 高次高調波
研究実績の概要

本研究の目的は、小型の実験室光源でありながら完全なコヒーレンスを有する高次高調波光源を用いX線集光素子の精密評価法を確立することである。本手法では、集光点近傍の複数の集光強度分布を用いた位相回復反復計算により、集光されたX線ビームの波面誤差を決定する。
これまで、複数の軟X線集光強度プロファイルを用いた反復位相回復プログラムも完成させ、シミュレーションにより高次高調波により波面計測が可能であることを示した。また、本研究では、SPring-8のコヒーレントな軟X線を用いた実験を行い、波面計測法を確立するとともに、2017年度において東京大学にある高次高調波発生施設において、高次高調波を用いた波面計測システムを構築した。本システムでは、X線発光材料を選択し、発光した光の分布を測定することX線の焦点での強度プロファイルとしている。構築したシステムは、焦点近傍面の発光材料とカメラが同時に動くシステムであり、これを焦点方向に移動させることで複数の強度を測定する。
2018年度は、集光強度プロファイル計測システムを高度化するとともに、実際に集光された高次高調波の波面計測を複数回実施した。その結果、軟X線集光用の回転楕円ミラーにより集光されたビームの波面計測に成功し、さらに、回転楕円ミラーの形状プロファイルの算出に成功した。ミラーを90度回転前後の2つのプロファイルが高精度に一致していることを確認した。以上のように当初の目標を達成した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

研究の主目的であった高次高調波による波面計測に成功し、集光ミラーの形状誤差を正確に測定することに成功した。

今後の研究の推進方策

高次高調波による波面計測実験を繰り返し、計測精度を向上させるとともに2019年度において研究成果を論文などで発信する。

次年度使用額が生じた理由

再度、高次高調波による波面計測実験を行うことで計測精度の向上が見込まれ、実験のための消耗品の購入費として使用するため。

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2019 2018

すべて 学会発表 (2件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [学会発表] 回転楕円ミラーによる高NA集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ計測2019

    • 著者名/発表者名
      竹尾陽子、鈴木明大、仙波康徳、岸本輝、大橋治彦、三村秀和
    • 学会等名
      第32回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム
  • [学会発表] Fabrication of precise ellipsoidal mirrors for soft x-ray nanofocusing,2018

    • 著者名/発表者名
      Hidekazu Mimura
    • 学会等名
      International Workshop on X-ray Optics and Application (IWXM2018)
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2021-12-27  

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