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精密なモノづくりにおいて最終的な精度を決定するのは計測である。計測できないものは作製できない。ミラーやレンズなどの光学素子の表面を測定する方法として光を用いた方法が長年研究開発されてきている。干渉計はその方法の一つであり、干渉させた光の強度データから形状情報を含む光の位相を測定する。光の位相測定では、用いる光の波長が短い方が高い精度が実現できる。
本研究では簡便かつ小型の可干渉性光源である高次高調波軟Ｘ線を用いた光学素子の精密計測法を確立した。本研究では、位相回復法をミラーによって集光された高次高調軟Ｘ線ビームに適応し高精度な波面計測に成功した。
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