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2018 年度 実施状況報告書

光エネルギー超濃縮マイクロチップによる革新的アクチュエータ制御原理の創出

研究課題

研究課題/領域番号 17K18849
研究機関山形大学

研究代表者

西山 宏昭  山形大学, 大学院理工学研究科, 准教授 (80403153)

研究期間 (年度) 2017-06-30 – 2020-03-31
キーワード金属ナノ構造 / プラズモン共鳴 / ソフトアクチュエータ / MEMS
研究実績の概要

本研究では,厳密光学設計された金属ナノ構造を用いた生体透過光駆動ソフトアクチュエータの制御原理の開発に取り組んだ.今年度は,計画に従い,生体透過性に優れた波長830 nmの光に対してプラズモン吸収を示す金属ナノ構造の光学設計を進めた.ナノ構造を配置する空間領域の依存性とナノ構造の複周期化による吸収効率の増強である.前者においては,体積相転移ソフト材料に金属ナノ構造を埋め込む際には,そのナノ構造の配置領域サイズが重要となるため,入射ビーム径に対して異なる領域サイズを持つ三種類のナノ構造を作製し,同条件での近赤外光照射を行った.素子構造は,電子ビーム描画およびプラズマエッチング,スパッタ成膜法を用いて作製した.適切な領域サイズにおいては,顕著な近赤外光駆動変形が観察された一方で,領域サイズによってはほぼ光照射による変形が見られなかった.後者においては,複周期化によるプラズモン吸収効率の変化を解析で見積もり,実験における光駆動変形挙動との比較を熱損失の観点から行った.劇的な光熱変換が生じた一方で,場合により解析との大きな差異が見られた.これは解析における光強度分布の仮定に起因した差異と考えられた.これらの知見から,プラズモン吸収効率と光駆動変形特性の相関が得られ,マイクロソフトアクチュエータの設計指針が得られつつある.現在,この仮定の補正による,超低パワー光での光駆動変形アクチュエータ構造の検討と金属ナノ構造の効果的な配置法の検討を進めている.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

効果的な生体透過光駆動変形の実現と共に,金属ナノ構造の形状制御による光駆動変形制御指針を構築しつつあるため.

今後の研究の推進方策

これまでに得た構造設計指針をもとに,近赤外吸収特性の制御を進めるとともに,マイクロゲルへの金属ナノ構造の埋め込みプロセスの開発を行う.

次年度使用額が生じた理由

研究としては計画に近いが,学内業務多忙のため,論文作成が予定より遅れている.このため,論文投稿関連経費として想定した研究費分が次年度使用額として生じた.次年度の早い段階で論文投稿を行う予定である.

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2019 2018

すべて 学会発表 (5件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件) 産業財産権 (1件) (うち外国 1件)

  • [学会発表] Femtosecond laser-reduction based assembly of functional nanomaterials2019

    • 著者名/発表者名
      H. Nishiyama
    • 学会等名
      3S-LP
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 近赤外応答プラズモニック構造を用いたマイクロゲルファイバーの変形2018

    • 著者名/発表者名
      阿部晃大,田端航,西山宏昭
    • 学会等名
      第79回応用物理学会 秋季学術講演会
  • [学会発表] ダイアフラム構造を用いた紫光励起プラズモン面内分布の動的制御2018

    • 著者名/発表者名
      池田一畝,遅澤伸宏,西山宏昭
    • 学会等名
      第79回応用物理学会 秋季学術講演会
  • [学会発表] 液中フェムト秒レーザ照射によるSiO2ナノ粒子の集積固化と曲面上パターン形成2018

    • 著者名/発表者名
      木村開登,梅津寛,西山宏昭
    • 学会等名
      第73回応用物理学会東北支部学術講演会
  • [学会発表] ダイアフラム構造を用いた紫光励起プラズモン場の動的制御2018

    • 著者名/発表者名
      池田一畝,遅澤伸宏,西山宏昭
    • 学会等名
      第73回応用物理学会東北支部学術講演会
  • [産業財産権] 固体微粒子で被覆された金属を含む複合体の製造方法2018

    • 発明者名
      西山宏昭,梅津寛
    • 権利者名
      西山宏昭,梅津寛
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2017-200202
    • 外国

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公開日: 2019-12-27  

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