| 研究課題/領域番号 |
18002009
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
山内 和人 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (10174575)
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| 研究分担者 |
山村 和也 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60240074)
佐野 泰久 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40252598)
三村 秀和 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (30362651)
稲垣 耕司 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50273579)
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| キーワード | X線ミラー / X線集光 / 超精密加工 / X線顕微鏡 / X線自由電子レーザー |
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| 研究概要 |
本研究の初年度の平成19年度では、硬X線のSub-10nmサイズへの集光と硬文線ナノビームの顕微鏡への応用を目指し、下記研究項目について研究を推進した。
(1)多層膜形成における成膜条件の最適化
SPring-8の放射光とラボベースのX線を用いた反射率計測法を確立し、その得られたデータを基に、多層膜構造の評価を実施した。X線集光に必要な十分な反射率が得られることを確認した。
(2)位相回復アルゴリズムの高機能化
ミラー波面誤差を算出するプログラムの改良により、実測されたプロファイルからのミラー形状誤差を算出する事に成功した。
(3)波面補正法の開発
計測された波面誤差を修正することを目的とし、in situで形状をナノメートルオーダーで制御可能な波面補正ミラーを製作した。フィゾー干渉計によるフィードバックシステムを完成させ、1nmを上回る形状コントロール精度を確認し、X線を照射しての波面制御実験を実施した。
(4)RADSIにもとづく形状計測システムの構築
硬X線をSub-10nmで集光可能な多層膜ミラーの表面形状をナノ精度で測定するための形状計測システムを完成させた。同等の曲率を持つ低いエネルギー用全反射集光ミラーを製作・評価し、本システムの性能評価を実施した。その集光特性から、十分な測定精度を持つ事を確認した。
(5)ミラー面内の中周期形状誤差(空間波長0.1mmレベル)除去のための基盤整備
中間形状誤差を除去するためのCARE(Catalyst Referred Etching)表面平滑化装置を開発した。
(6)顕微鏡システムの開発準備
蛍光X線分析における測定感度向上を目的とし、サンプル周りを局所排気可能なように装置改造を行った。共同研究者の関係にある国立国際医療センターや理化学研究所との連携により、様々な処理をした生体細胞観察を実施した。
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