| 研究課題/領域番号 |
18002009
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
山内 和人 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (10174575)
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| 研究分担者 |
山村 和也 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60240074)
佐野 泰久 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40252598)
三村 秀和 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (30362651)
稲垣 耕司 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50273579)
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| キーワード | X線ミラー / X線集光 / 超精密加工 / X線顕微鏡 / X線自由電子レーザー |
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| 研究概要 |
本研究の3年目である平成20年度では、特に硬X線のSub-10nm集光の実現と、顕微鏡システムへの応用に向けて下記の研究項目について研究を推進した。
(1)入射波面補正システムの構築
平面ミラーの対面にフィゾー干渉計を配置し、平面ミラーの形状測定を一定間隔で繰り返しながら、測定形状から目的形状の差を求め、各素子に印加する電圧を決定するフィードバックシステムを完成させた。
(2)多層膜集光ミラーの製作
急峻形状に対応した形状計測システムとEEM数値制御加工システムを用い、基板表面の形状をPV : 2nmレベルで作製し、そして、その表面に曲率に応じて膜厚分布を変化させた多層膜コーティングを行い、多層膜集光ミラーを完成させた。
(3)1次元硬X線Sub-10nm集光の実現
高剛性架台上に、1×10^<-8>radでの入射角度調整が可能なアライメント調整機構、その前段に波面補正アクティブミラー、そして、後段に高精度強度プロファイル計測システムを配置した、1次元集光システムを構築した。さらに年度後半において、2次元集光システムを完成させた。1次元集光実験において、15keVのX線を用いて集光径15nmを確認した。
(4)顕微鏡システム開発準備
将来の顕微鏡システムの生物学分野への応用に向けた整備において、ラボベースにおける細胞培養と観察能力を向上させ、国立国際医療センターとの連携により、医学・創薬応用に向けた、各種の細胞を用いた、蛍光X線による細胞内元素イメージングを実施した。
集光光学系を用いた、コヒーレントX線回折顕微鏡への応用を開始し、シミュレーションから光学系の設計を行った。
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