| 研究課題/領域番号 |
18002009
|
|---|
| 研究種目 |
特別推進研究
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 審査区分 |
理工系
工学
|
|---|
| 研究機関 | 大阪大学 |
|---|
研究代表者 |
山内 和人 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (10174575)
|
|---|
| 研究分担者 |
三村 秀和 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (30362651)
|
|---|
| 連携研究者 |
山村 和也 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60240074)
佐野 泰久 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40252598)
高橋 幸生 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00415217)
稲垣 耕司 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50273579)
松山 智至 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10423196)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2006 – 2010
|
| キーワード | 超精密加工 / X線光学 / 波面光学 / ナノ集光 |
|---|
| 研究概要 |
X線分析法において,電子顕微鏡に迫るSub-10nm分解能の実現を目指し,ミラー光学素子によるSub-10nm硬X線集光および顕微鏡システムを開発した.波動光学に基づく手法で,硬X線領域におけるIn-situ波面計測・補正法を完成させ,SPring-8において世界で初めてシングルナノメートルサイズのX線ビームを実現した.顕微鏡システムに発展させ,Sub-10nm分解能でのナノ薄膜構造の観察にも世界に先駆けて成功した.
|
