ナノ多重接合系の輸送制御と新機能デバイスの研究

2008 年度 自己評価報告書

• 研究課題/領域番号: 18063010
• 研究種目: 特定領域研究
• 配分区分: 補助金
• 審査区分: 理工系
• 研究機関: 静岡大学
• 研究代表者: 田部 道晴 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80262799)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2009
• キーワード: 電子デバイス・機器 / 電子・電気材料 / トンネル現象 / シリコンナノデバイス

研究概要

本研究では、単電子(単正孔)の輸送過程を制御した新機能デバイスを開拓し、ポストスケーリングへの展開を図ることを目的とする。特に多重トンネル接合をチャネルとするSOI-FET をデバイスの基本構造として、
(1)フォトンによる単電子電流の制御、
(2)ランダム多重接合系の単電子転送と極低温KFM によるデバイス動作状態の可視化、
(3)人工転位網を用いたナノドット形成法の確立
を目指すものである。

研究成果

• [雑誌論文] Observation of individual dopants in a thin silicon layer by low temperture Kelvin Prove Force Microscope (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Ligowski, D. Moraru, M. Anwar, T. Mizuno, R. Jablonski and M. Tabe
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. Vol.93, No.14 ページ: 142101-1-3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Detection of field-induced single-acceptor ionization in Si by single-holetunneling transistor (2007)
  • 著者名/発表者名: Z. A. Burhanudin, R. Nuryadi and M. Tabe
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. Vol.91, No.4 ページ: 042103-1-3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Quantized electron transfer through random multiple tunnel junctions in phosphorous-doped silicon nanowires (2007)
  • 著者名/発表者名: D. Moraru, Y. Ono, H. Inokawa and M. Tabe
  • 雑誌名: Phys. Rev. B Vol.76, no.7 ページ: 075332-1-5
  • 査読あり
• [学会発表] Si Single-Electron SOI-MOSFETs : Interplay with Individual Dopants and Photons (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Tabe, Zainal A. Burhanudin, Ratno Nuryadi, Daniel Moraru, Maciej Ligowski, Ryszard Jablonski and Takeshi Mizuno
  • 学会等名: MRS fall meeting 2008
  • 発表場所: Boston・MA,
  • 年月日: 20081201-05
• [図書] シリコンフォトニクス-先端光テクノロジーの新展開- : 金光義彦・深津晋 [共編]、第4章「受光素子」 (2007)
  • 著者名/発表者名: 田部道晴
  • 総ページ数: 119-154
  • 出版者: オーム社
• [図書] "Resonant tunneling in Si nandevices", Silicon Nanoelectronics, Eds: D. Ferry and S. Oda (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Tabe, H. Ikeda and Y. Ishikawa
  • 総ページ数: 133-154
  • 出版者: CRC Press
• [備考] 田部道晴 : 集積回路 原子の「ムラ」検査-静岡大、微細化促す新技術日経産業新聞(2008.10.2)
• [備考] 田部道晴 : 第2 回(平成18年度)「高柳記念賞」受賞が新聞に掲載される。中日新聞、静岡新聞(2006.12.10)
• [備考] 電子工学研究所
  • URL: http://www.rie.shizuoka.ac.jp/index.html
• [備考] 田部研究室
  • URL: http://www.rie.shizuoka.ac.jp/~nanohome