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2008 年度 自己評価報告書

ナノシステム機能化High-kゲート/歪制御ゲルマニウムチャネル構造の創成

研究課題

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研究課題/領域番号 18063012
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関名古屋大学

研究代表者

財満 鎭明  名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授 (70158947)

研究期間 (年度) 2006 – 2009
キーワード半導体超微細化 / デバイス設計・製造プロセス / ナノ材料 / 半導体物性 / 表面・界面物性
研究概要

Siデバイスの小型化に伴う携帯情報機器の爆発的普及が加速する現在、ナノスケールの金属-絶縁物-半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を一つのシステムとして正常かつ精緻に機能させる革新的技術が要求されている。本研究においては、これまでのスケーリングにより性能向上を図る開発路線を脱却し、従来のデバイス物性の限界を大幅に超えて、ナノシステムを機能化させ得るポストスケーリング世代におけるMOSFETデバイスの実現を目的とする。具体的には、超低駆動電圧、超低消費電力と同時に超高速動作を可能とする新規IV族系MOSFETの実現に向けた、新しいゲートスタック/チャネル構造のためのプロセス技術を構築し、仕事関数可変型の金属合金メタルゲート、超低リーク・高信頼性希土類金属系高誘電率(High-k)絶縁膜、歪・欠陥制御型高移動度歪Geチャネルおよびバッファ層から構成されたハイブリッドへテロ構造の開発、および基礎的物性解明を目指す。

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Tensile strained Ge layers on strain-relaxed Ge_<1-x>Sn_x/virtual Ge substrates2008

    • 著者名/発表者名
      S.Takeuchi, A.Sakai, O.Nakatsuka, M.Ogawa, and S.Zaima
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 517(1)

      ページ: 159-162

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of highly strain-relaxed Ge_<1-x>Sn_x/virtual Ge by a Sn precipitation controlled compositionally step-graded method2008

    • 著者名/発表者名
      S.Takeuchi, Y.Shimura, O.Nakatsuka, S.Zaima, M.Ogawa, and A.Sakai
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 92

      ページ: 231916-1-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Crystalline and electrical properties of mictamict TiSiN gate MOS capacitors2008

    • 著者名/発表者名
      K.Furumai, H.Kondo, M.Sakashita, A.Sakai, M.Ogawa and S.Zaima
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 47(4)

      ページ: 2420-2424

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Humidity-Dependent Stability of Amorphous Germanium Nitrides Fabricated by Plasma Nitridation2007

    • 著者名/発表者名
      K.Kutsuki, G.Okamoto, T.Hosoi, T.Shimura, and H.Watanabe
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 91

      ページ: 163501-1-3

    • 査読あり
  • [学会発表] Strain and dislocations in group IV semiconductor heterostructures(招待講演)2007

    • 著者名/発表者名
      A.Sakai, O.Nakatsuka, M.Ogawa, and S.Zaima
    • 学会等名
      Materials Research Society 2007 Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      20070409-13
  • [備考]

    • URL

      http://alice.xtal.nagoya-u.ac.jp/zaimalab/

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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