研究課題/領域番号 |
18063015
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研究種目 |
特定領域研究
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配分区分 | 補助金 |
審査区分 |
理工系
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研究機関 | 18063015 |
研究代表者 |
浦岡 行治 18063015, 物質創成科学研究科, 教授 (20314536)
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研究分担者 |
山本 伸一 龍谷大学, 理工学部, 教授 (70399260)
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連携研究者 |
池田 篤志 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 准教授 (90274505)
畑山 智亮 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教 (90304162)
矢野 裕司 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教 (40335485)
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研究期間 (年度) |
2006 – 2009
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キーワード | 生体超分子 / 自己組織化 / 半導体デバイス / メモリ / シリコン薄膜 / 結晶化 / ディスプレイ |
研究概要 |
生体超分子や有機分子など、自己組織化能力をもつ新しい材料を導入し、新しい半導体デバイスプロセスを提案した。従来の無機材料では得られないナノメートルスケールでの均一性、位置制御性を有効に活用し、フローティングゲートメモリ、抵抗変化型メモリ、薄膜トランジスタなどにおいて高い性能を実証した。本提案は、ポストスケールの時代を迎えて、有効な半導体作製技術である。
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