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2008 年度 自己評価報告書

単一磁束量子による高スループット微細超伝導配線

研究課題

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研究課題/領域番号 18080002
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関埼玉大学

研究代表者

明連 広昭  埼玉大学, 大学院理工学研究科, 教授 (20219827)

研究期間 (年度) 2006 – 2009
キーワード単一磁束量子論理回路 / マイクロストリップ線路 / ストリップ線路 / 磁気シールド構造 / 電子ビーム描画
研究概要

(1)単一磁束量子論理回路において、将来、現在用いられている臨界電流密度が2.5kA/cm_2 のNb標準プロセスから、100 kA/cm_2以上のプロセスに移行するとセル寸法は現在の10 分の1となり、集積度は100 倍になると考えられる。このようなセルの中で高密度な受動配線による高スループット信号伝送を実現するために、サブミクロン幅のマイクロストリップ線路やストリップ線路を作製し、実際のSFQ パルスの高スループット伝送時における問題点を見出し、解決する。
(2)我々は、サブミクロン幅のマイクロストリップ線路を実現するために比較的高い誘電率を持つAl_2O_3やMgOを層間絶縁薄膜として利用することを検討する。従来のSiO_2 による層間絶縁薄膜と異なり反応性ドライエッチングを用いることができないので、デバイス作製方法も併せて検討を行う。
(3)さらに平成20年度よりSFQ LSI チップの3次元実装を目指して、基板貫通ビア内へのめっき法によるNb超伝導配線形成技術に関する研究に着手した。

  • 研究成果

    (3件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (1件) 学会発表 (2件)

  • [雑誌論文] Superconducting NbN Nanowire Ph oto Switches for Generating Single Flux Quantum Pulses2008

    • 著者名/発表者名
      H. Myoren, Y. Mada, Y. Matsui, T. Taino, and S. Takada
    • 雑誌名

      J. Phys.: Conf. Ser 97

      ページ: 012329, 1-6

  • [学会発表] SFQ Multiplexed Signal Processing Circuits for Super conducting Tunnel Junction Photon Detector Arrays2008

    • 著者名/発表者名
      H. Myoren, Y. Yoshizawa, and T. Taino
    • 学会等名
      2008 Applied Superconductor Conference (2008 ASC)
    • 発表場所
      Chicago, USA
    • 年月日
      2008-08-20
  • [学会発表] Magnetic Shield for SFQ Digital Circuits using Over- and Under-Ground Planse Connecting with Wall Structure2007

    • 著者名/発表者名
      H. Myoren, N. Kishita,Y. Yoshizawa, T. Taino, and S. Takada
    • 学会等名
      11th International Superconductive Electronics Conference (ISEC 2007)
    • 発表場所
      Washington, D.C., USA
    • 年月日
      2007-06-11

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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