モジュール集積型デスクトップ超クリーンラボラトリーシステムの開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18205021
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 機能材料・デバイス
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 鯉沼 秀臣 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 特任研究員 (70011187)
• 研究分担者: 知京 豊裕 独立行政法人物質, 材料研究機構・ナノマテリアル研究所, リサーチフェロー (10354333) ; 伊高 健治 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 特任研究員 (40422399) ; 大西 剛 東京大学, 物性研究所, 助教 (80345230)
• 連携研究者: 大西 剛 東京大学, 物性研究所, 助教 (80345230)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: 電子・電気材料 / MBE、エピタキシャル / ナノ材料 / 超薄膜 / 表面・界面物性

研究概要

物理的・化学的に超クリーンな環境で、合成から構造解析・物性評価に至るプロセスを一貫して進行させる高速かつ省エネルギーな革新的ものづくり研究開発システムの構築を目指し、超小型パルスレーザ薄膜堆積ユニットと、複数のモジュールを接続するフレキシブル試料搬送ユニット(中央制御機構)を開発した。超小型KrF レーザや板バネを用いた新搬送機構の採用によりスペースを従来システムの1/4以下にし、かつ自由度の高い薄膜・評価システムの構築を実現した。

研究成果

• [雑誌論文] 資源・環境・エネルギー材料研究…コンビナトリアル戦略の今 (2009)
  • 著者名/発表者名: 片山正士、鯉沼秀臣
  • 雑誌名: Fine Ceramics Report 27 ページ: 14-21
• [雑誌論文] Ferromagnetic properties of epitaxial La2NiMnO6 thin films grown by pulsed laser deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Kitamura, I. Ohkubo, M. Kubota, Y. Matsumoto, H. Koinuma , M. Oshima
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 94 ページ: 132506
  • 査読あり
• [雑誌論文] Quantitative conductivity mapping of SrTiO3-LaAlO3-LaTiO3 ternary composition-spread thin film by scanning microwave microscope Appl (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Okazaki, N. Okazaki, Y. Hirose,J. Nishimura, K. Ueno, A. Ohtomo, M. Kawasaki, H. Koinuma , T. Hasegawa
  • 雑誌名: Phys. Express 1 ページ: 055003
  • 査読あり
• [雑誌論文] Trap-controlled space-charge-limited current mechanism in resistance switching at Al/Pr0.7Ca0.3MnO3 interface (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Harada, I. Ohkubo, K. Tsubouchi, H. Kumigashira, T. Ohnishi, M. Lippmaa, Y. Matsumoto, H. Koinuma , M. Oshima
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 92 ページ: 222113
  • 査読あり
• [雑誌論文] Composition-spread thin films of pentacene and 6,13-pentacenequinone fabricated by using continuous-wave laser molecular beam epitaxy (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Yaginuma, K. Itaka, Y. Matsumoto, T. Ohnishi, M. Lippmaa, T. Nagata, T. Chikyow , H. Koinuma
  • 雑誌名: Appl. Surf. Sci 254 ページ: 2336-2341
  • 査読あり
• [雑誌論文] second harmonic generation from the surface of Co-doped rutile TiO2(110) (2008)
  • 著者名/発表者名: R. Watanabe, M. Yuasa, Y. Yahata, G. Mizutani, T. Suzuki, Y. Segawa, Y. Matsumoto, Y. Yamamoto , H. Koinuma
  • 雑誌名: Surface and Interface Analysis 40 ページ: 1692-1695
  • 査読あり
• [雑誌論文] In situ photoemission study of Pr1-xCaxMnO3 epitaxial thin films with suppressed charge fluctuations (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Wadati, A. Maniwa, A. Chikamatsu, I. Ohkubo, H. Kumigashira, M. Oshima, A. Fujimori, M. Lippmaa, M. Kawasaki , H. Koinuma
  • 雑誌名: Phys.Rev.Lett 100 ページ: 026402
  • 査読あり
• [雑誌論文] Epitaxial growth and surface metallic nature of LaNiO3 thin films (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Tsubouchi, I. Ohkubo, H. Kumigashira, Y. Matsumoto, T. Ohnishi, M. Lippmaa, H. Koinuma , M. Oshima
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 92 ページ: 262109
  • 査読あり
• [雑誌論文] Modification of reflection high-energy electron diffraction system for in situ monitoring of oxide epitaxy at high oxygen pressure (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Tsubouchi, I. Ohkubo, T. Harada, H. Kumigashira, Y. Matsumoto, T. Ohnishi, M. Lippmaa, H. Koinuma , M. Oshima
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering B-Advanced Functional Solid-State Materials 148 ページ: 16-18
  • 査読あり
• [雑誌論文] Field-induced resistance switching at metal/perovskite manganese oxide interface (2008)
  • 著者名/発表者名: I. Ohkubo, K. Tsubouchi, T. Harada, H. Kumigashira, K. Itaka, Y. Matsumoto, T. Ohnishi, M. Lippmaa, H. Koinuma , M. Oshima
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering B-Advanced Functional Solid-State Materials 148 ページ: 13-15
  • 査読あり
• [雑誌論文] Electrode dependence and film resistivity electric-field-induced resistance-switching in epitaxial NiO films effect in the phenomena (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ishihara, I. Ohkubo, K. Tsubouchi, H. Kumigashira, U. S. Joshi, Y. Matsumoto, H. Koinuma , M. Oshima
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering B-Advanced Functional Solid-State Materials 148 ページ: 40-42
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-throughput characterization of metal electrode performance for electric-field-induced resistances witching in etal/Pr0.7Ca0.3MnO3/metal structures (2007)
  • 著者名/発表者名: K. Tsubouchi, I. Ohkubo, H. Kumigashira, M. Oshima, Y. Matsumoto, K. Itaka, T. Ohnishi, M. Lippmaa , H. Koinuma
  • 雑誌名: Adv. Mater 19 ページ: 1711-1713
  • 査読あり
• [雑誌論文] Thickness dependence of magnetic domain formation in La0.6Sr0.4MnO3 epitaxial thin films studied by XMCD-PEEM (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Taniuchi, R. Yasuhara, H. Kumigashira, M. Kubota, H. Okazaki, T. Wakita, T. Yokoya, K. Ono, M. Oshima, M. Lippmaa, M. Kawasaki , H. Koinuma
  • 雑誌名: Surf. Sci 601 ページ: 4690-4693
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ceramic liquid droplets stabilized in vacuum (2007)
  • 著者名/発表者名: R. Takahashi, Y. Tsuruta, Y. Yonezawa, T. Ohsawa, H. Koinuma , Y. Matsumoto
  • 雑誌名: J. Appl. Phys 101 ページ: 033511-033515
  • 査読あり
• [雑誌論文] A high-throughput thermoelectric power-factor screening tool for rapid construction of thermoelectric property diagrams (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Otani, N. D. Lowhorn, P. K. Schenck, W. Wong-Ng, M. L. Green, K. Itaka , H. Koinuma
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 91 ページ: 132102
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of a high-throughput thermoelectric screening tool for combinatorial thin film libraries (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Otani, K. Itaka, W. Wong-Ng, P. K. Schenck, H. Koinuma
  • 雑誌名: Appl. Surf. Sci 254 ページ: 765-767
  • 査読あり
• [雑誌論文] Transport and magnetic properties of Pr1-xCaxMnO3 epitaxial films grown on LaAlO3 substrates (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Maniwa, K. Okano, I. Ohkubo, H. Kumigashira, M. Oshima, M. Lippmaa, M. Kawasaki , H. Koinuma
  • 雑誌名: J. Mag. Mag. Mat 310 ページ: 2237-2238
  • 査読あり
• [雑誌論文] In situ photoemission characterization of the tunneling barrier in La0.6Sr0.4MnO3SrTiO3/La0.6Sr0.4MnO3 tunneling junctions (2007)
  • 著者名/発表者名: H. Kumigashira, R. Hashimoto, A. Chikamatsu, M. Oshima, H. Wadati, A. Fujimori, M. Lippmaa, M. Kawasaki , H. Koinuma
  • 雑誌名: J. Mag. Mag. Mat 310 ページ: 1997-1999
  • 査読あり
• [雑誌論文] Magnetic domain structure of a technically patterned ferromagnetic La0.6Sr0.4MnO3 thin film (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Kubota, T. Taniuchi, R. Yasuhara, H. Kumigashira, M. Oshima, K. Ono, H. Okazaki, T. Wakita, T. Yokoya, H. Akinaga, M. Lippmaa, M. Kawasaki , H. Koinuma
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 91 ページ: 182503
  • 査読あり
• [雑誌論文] Oxide materials research for global environment and energy with a focus on CO2 fixation into polymers (2007)
  • 著者名/発表者名: H. Koinuma
  • 雑誌名: React. Funct. Polym 67 ページ: 1129-1136
  • 査読あり
• [学会発表] フレキシブル真空搬送機構を備えた超小型モジュール型薄膜・評価作製システムの開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 伊高健治
  • 学会等名: 応用物理学会 2009 年度春季大会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-04-02
• [学会発表] エピタキシャルLa2NiMnO6 薄膜における磁気特性の作製条件依存 (2009)
  • 著者名/発表者名: 北村未歩
  • 学会等名: 応用物理学会 2009 年度春季大会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-31
• [学会発表] Totally ultra-clean combinatorial material research complex of uni-sized modules : Concept, system development and test run (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Koinuma
  • 学会等名: 5th International Conference on Combinatorial and High-Throughput Materials Science
  • 発表場所: Kloster Seeon, Germany
  • 年月日: 2008-09-28
• [学会発表] 金属/Pr0.7Ca0.3MnO3 界面型抵抗変化素子における空間電荷制限電流の重要性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 原田尚之
  • 学会等名: 応用物理学会2008 年秋季学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] Metal/Pr0.7Ca0.3MnO3 ショットキー接合における電流-電圧特性の電極依存性(3) (2008)
  • 著者名/発表者名: 原田尚之
  • 学会等名: 応用物理学会2008 年秋季学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] 赤外線YAG パルスレーザを用いたコンビナトリアル金属電極の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 伊高健治
  • 学会等名: 応用物理学会2008 年秋季学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] 新しい真空搬送機構を備えた超小型モジュール型薄膜作製・評価システムの開発 (2008)
  • 著者名/発表者名: 伊高健治
  • 学会等名: 第55回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 日本大学 船橋キャンパス
  • 年月日: 2008-03-29
• [産業財産権] 真空搬送機構及びそれを備えたマルチチャンバシステム (2008)
  • 発明者名: 鯉沼秀臣, 伊高健治, 佐藤利弘
  • 権利者名: 独立行政法人科学技術振興機構
  • 産業財産権番号: 2008-082208
  • 出願年月日: 2008-03-26