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2008 年度 研究成果報告書

InNおよび関連混晶の高度化RF-MBE成長技術の開発と電子・光物性制御の研究

研究課題

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研究課題/領域番号 18206003
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関立命館大学

研究代表者

名西 やす之  立命館大学, 理工学部, 教授 (40268157)

研究分担者 直井 弘之  立命館大学, COE推進機構, 研究員 (10373101)
NA Hyunseok  立命館大学, COE推進機構, 研究員 (80411239)
荒木 努  立命館大学, 理工学部, 准教授 (20312126)
青柳 克信  立命館大学, COE推進機構, 教授 (70087469)
山口 智広  立命館大学, 総合理工学・研究機構, 研究員 (50454517)
連携研究者 金子 昌充  立命館大学, 総合理工学・研究機構, ポスドク研究員 (70374709)
WANG Ke  立命館大学, 総合理工学・研究機構, ポスドク研究員 (60532223)
研究期間 (年度) 2006 – 2008
キーワードエピタキシャル成長 / 窒化インジウム / 分子線エピタキシー
研究概要

RF-MBE法を用いたInNとその関連混晶の成長に特有な本質的課題(結晶高品質化とp型の実現、接合の形成、ヘテロ・ナノ構造制御等)に取り組み、デバイス応用へ向けた光・電子物性制御の基本検討を実施した。高In組成InGaNへのMgドーピングによるp型伝導制御、InN MISダイオードおよびオーミック電極特性、GaN/InN、AlN/InNヘテロ界面におけるインターミキシングに関する知見を得た。

  • 研究成果

    (28件)

すべて 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 (16件) (うち査読あり 16件) 学会発表 (11件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Appl. Phys2009

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      Express 2

      ページ: 051001/1-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Novel InN growth method under In-rich condition on GaN/Al_2O_3 (0001) templates, phys2009

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, D. Muto, T. Araki, N. Maeda, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      stat. sol (c)6

      ページ: S360-S363

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of M-plane(10-10) InN on LiAlO_2(100) Substrate, phys2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Takagi, D. Muto, T. Yamaguchi, T. Araki, Y. Nanishi
    • 雑誌名

      stat. sol (c)6

      ページ: S425-S428

    • 査読あり
  • [雑誌論文] TEM Characterization of M-plane InN Grown on (100) LiAlO_2 Substrate by RF-MBE, phys2009

    • 著者名/発表者名
      H. Nozawa, Y. Takagi, S. Harui, D. Muto, T. Yamaguchi, T. Araki, Y. Nanishi
    • 雑誌名

      stat. sol (c)6

      ページ: S429-S432

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth and characterization of N-polar and In-polar InN films by RF-MBE, J2009

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, D. Muto, T. Araki, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      Cryst. Growth 311

      ページ: 2780-2782

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Position-Controlled InN Nanocolumns by ECR-MBE2009

    • 著者名/発表者名
      T. Araki, D. Fukuoka, H. Tamiya, S. Harui, T. Yamaguchi, H. Miyake, K. Hiramatsu, Y. Nanishi
    • 雑誌名

      SPIE Photonics West 2009 Proceedings 7216 72160N

      ページ: 1-8

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Transmission Electron Microscopy Characterization of Position-Controlled InN Nanocolumns, Jpn2008

    • 著者名/発表者名
      S. Harui, H. Tamiya, T. Akagi, H. Miyake, K. Hiramatsu, T. Araki and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys 47

      ページ: 5330-5332

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Correlation Between Threading Dislocations and Nonradiative Recombination Centers in InN Observed by IR Cathodoluminescence2008

    • 著者名/発表者名
      T. Akagi, K. Kosaka, S. Harui, D. Muto, H. Naoi, T. Araki, Y. Nanishi
    • 雑誌名

      Journal of Electronic Materials 37

      ページ: 603-606

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thermal and Chemical Stabilities of In-and N-Polar InN Surfaces, phys2007

    • 著者名/発表者名
      H. Naoi, D. Muto, T. Hioka, Y. Hayakawa, A. Suzuki, T. Araki, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      stat. sol 244

      ページ: 1834-1838

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mg-doped N-polar InN Grown by RF-MBE, Mater2007

    • 著者名/発表者名
      D. Muto, H. Naoi, S. Takado, H. Na, T. Araki, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      Res. Soc. Symp. Proc 955

      ページ: 0955-I08-01

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Position-Controlled InN Nano-dot Growth on Patterned Substrates by ECR-MBE, Mater. Res2007

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, H. Naoi, T. Araki, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      Soc. Symp. Proc 955

      ページ: 0955-I07-40

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microstructure of A-plane InN grown on R-plane Sapphire by ECR-MBE, phys2007

    • 著者名/発表者名
      S. Watanabe, Y. Kumagai, A. Tsuyuguchi, H. Naoi, T. Araki, Y. Nanishi
    • 雑誌名

      stat. sol (c)4

      ページ: 2556-2559

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of A-plane(11-20) In-rich InGaN on r-plane(10-12) sapphire by RF-MBE, phys2007

    • 著者名/発表者名
      M. Noda, Y. Kumagai, S. Takado, D. Muto, H. Na, H. Naoi, T. Araki, Y. Nanishi
    • 雑誌名

      stat. sol (c)4

      ページ: 2560-2563

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of In-rich InAlN films on(0001) sapphire by RF-MBE and their properties2007

    • 著者名/発表者名
      H. Naoi, K. Fujishima, S. Takado, M. Kurouchi, D, Muto, T. Araki, H. Na, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      Journal of Electronic Materials 36

      ページ: 1313-1319

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of low temperature InGaN interlayers on structural and optical properties of In-rich InGaN, J2007

    • 著者名/発表者名
      H. Na, S. Takado, S. Sawada, M. Kurouchi, T. Akagi, H. Naoi, T. Araki, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      Cryst. Growth 300

      ページ: 177-181

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of InN nanocolumns by RF-MBE, J2007

    • 著者名/発表者名
      S. Nishikawa, Y. Nakao, H. Naoi, T. Araki, H. Na, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      Cryst. Growth 301-302

      ページ: 490-495

    • 査読あり
  • [学会発表] AlN/InNヘテロ構造の作製と評価2009

    • 著者名/発表者名
      奥村昌平、山口智広、武藤大祐、荒木努、名西やす之
    • 学会等名
      2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-30
  • [学会発表] CTLM法によるAl, Ti, Ni, のInNへのコンタクト抵抗評価2009

    • 著者名/発表者名
      菊池将悟、前田就彦、山口智広、名西やす之
    • 学会等名
      2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-21
  • [学会発表] RF-MBE法を用いた高In組成In GaNに対するMg dopingの検討2008

    • 著者名/発表者名
      福本英太、澤田慎也、武藤大祐、山口智広、荒木努、名西やす之
    • 学会等名
      第38回結晶成長国内会議(NCCG-38)
    • 発表場所
      仙台市戦災復興記念館
    • 年月日
      2008-11-05
  • [学会発表] Recent Progress of InN and In GaN Growth for Device Applications (Invited)2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Nanishi, T. Araki, T. Yamaguchi, D. Muto
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride semiconductors (IWN2008)
    • 発表場所
      Montreux, Switzerland
    • 年月日
      2008-10-09
  • [学会発表] GaN/InNヘテロ構造の成長と評価2008

    • 著者名/発表者名
      武藤大祐、山口智広、荒木努、名西やす之
    • 学会等名
      2008年(平成20年)秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-04
  • [学会発表] CTLM法によるInNオーミックコンタクト抵抗の評価2008

    • 著者名/発表者名
      菊池将悟、佐藤丈、檜木啓宏、山口智広、前田就彦、荒木努、名西やす之
    • 学会等名
      2008年(平成20年)秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-03
  • [学会発表] Potential, Achievements and Issues of InN and Related Alloys for Device Applications (Invited), International Conference on Optical2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Nanishi, D. Muto, M. Noda, S. Harui, T. Yamaguchi, T. Araki
    • 学会等名
      Optoelectronic and Photonic Materials Applications 2008 (ICOOPMA08)
    • 発表場所
      Edmonton, Canada
    • 年月日
      2008-07-23
  • [学会発表] Fabrication and Electrical Characterization of InN MES and MIS Diode Structures2008

    • 著者名/発表者名
      S. Kikuchi, T. Sato, A. Hinoki, D. Muto, N. Maeda, T. Araki, and Y. Nanishi
    • 学会等名
      27th Electronic Materials Symposium (EMS27)
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺
    • 年月日
      2008-07-10
  • [学会発表] GaN/InN界面におけるInとGaのインターミキシング2008

    • 著者名/発表者名
      武藤大祐、山口智広、澤田慎也、荒木努、名西やす之
    • 学会等名
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学理工学部
    • 年月日
      2008-03-27
  • [学会発表] InN MISダイオードの順方向電気的特性2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤丈、檜木啓宏、武藤大祐、前田就彦、荒木努、名西やす之
    • 学会等名
      2008年(平成20年)春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学理工学部
    • 年月日
      2008-03-27
  • [学会発表] RF-MBE Growth and Properties of Mg-doped Polar and Non-polar InN and In-rich InGaN (Invited)2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Nanishi
    • 学会等名
      Topical Workshop on achieving p-type InN
    • 発表場所
      Hakone, Japan
    • 年月日
      2008-03-04
  • [図書] Chapter 1-Molecular-beam epitaxy of InN, Editors : T. D. Veal, C. F. McConville, and W. J. Schaff, CRC Press/Taylor and Francis(in press)2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Nanishi, T. Araki and T. Yamaguchi
    • 出版者
      Indium Nitride and Related Alloys

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公開日: 2010-06-10   更新日: 2021-04-07  

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