| 研究概要 |
半導体デバイスやマクロセンサーなどのマイクロシステムは種々の材料から構成される多層薄膜構造体であることが特徴である.このような構造体においては,各層の機能の効果的な発現に加えて,構造体としての健全性を確保する必要がある.構造体の寸法の微細化とともに,界面の不均質な階層構造が無視できなくなる,あるいは,機能発現のために積極的に不均質構造化している場合が多く現れてきており,健全性評価の際に,原子レベル,分子構造レベルさらには高次構造レベルなどのミクロ階層構造を適切に考慮した力学的取り扱いが必要となっている.そこで,本研究では,多層薄膜構造体の機能として電気的および光学的特性をその代表として取り上げ,薄膜の機能・寿命特性を支配する表面・界面の力学場パラメータを明らかにすることを目的とする.本年度は,界面における力学場が機能特性へ及ぼす影響を明らかにするために,従来からの研究によって開発した超音波試験装置で広帯域の表面波,Love波を伝播させ,ウェーブレト波形解析を行うことで速度分散特性を求めた.また,ナノインデンテーション試験,マルチステージピール試験を行い,界面の損傷やはく離の進行過程を詳細に観察・計測した.さらに,新たなピール試験装置を開発し,その有効性について検討した.
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