| 研究課題/領域番号 |
18206016
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
高 偉 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70270816)
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| 研究分担者 |
小野 崇人 東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90282095)
厨川 常元 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90170092)
清水 浩貴 九州工業大学, 工学部, 准教授 (50323043)
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| 研究期間 (年度) |
2006 – 2008
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| キーワード | エッジ / 3次元形状 / 計測 / マイクロ / 工具 / 光プローブ / アライメント / AFM |
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| 研究概要 |
先端のコ-ナ半径が非常に小さな(1μm程度)超精密切削加工用のダイヤモンドツールのエッジの形状を原子間力顕微鏡(AFM)により計測するため, 専用の計測装置を製作した. また, 計測の際に必要となるAFMプローブとツールとの位置合わせ(アライメント)を実現するため, 光プローブを利用したアライメント機構を開発した.
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