超臨界エリプソメトリーで切り開く形状敏感ナノデバイスプロセス創製

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18206031
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 山梨大学
• 研究代表者: 近藤 英一 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (70304871)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: 超臨界流体 / エリプソメトリー / 薄膜堆積

研究概要

超臨界流体は気体と液体の中間の性質を有する高密度の溶媒である。超臨界流体中に有機金属錯体を溶解し反応により固体を析出させると細孔内へ原料が凝集して細孔内にのみ選択的に物質を充填でき, 微細プロセス限界を凌駕できると期待できる。本研究ではこの現象を理解するため, 超臨界流体中での吸着・凝集現象を観測する超臨界エリプソメトリーを構築した。実際に凝集の観測に成功するとともに, サブナノ細孔の評価にも適用した。また堆積の評価も行った。

研究成果

• [雑誌論文] Kinetics of Deposition of Cu Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Solutions from a F-Free Copper(II) -Diketone Complex (2009)
  • 著者名/発表者名: Masahiro Matsubara, Michiru Hirose, Kakeru Tamai, Yukihiro Shimogaki, and Eiichi Kondoh
  • 雑誌名: J. Electrochem. Soc. 156, 6 ページ: H443-H447
  • 査読あり
• [雑誌論文] Topography-sensitive copper deposition in supercritical solutions (2009)
  • 著者名/発表者名: Eiichi Kondoh, K. Nagano,C. Yamamoto, J. Yamanaka
  • 雑誌名: Microelectronics Engineering 86 ページ: 902-905
  • 査読あり
• [雑誌論文] Conformal Deposition and Gap-Filling of Copper into Ultranarrow Patterns by Supercritical Fluid Deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Momose , Masakazu Sugiyama, EiichiKondoh, Yukihiro Shimogaki
  • 雑誌名: Applied Physics Express 1
  • 査読あり
• [雑誌論文] Deposition of zinc oxide thin films in supercritical carbon dioxide solutions (2008)
  • 著者名/発表者名: Eiichi Kondoh, Kenji Sasaki, Yoichi Nabetani
  • 雑誌名: Applied Physics Express 1, 6 ページ: 061201-1-3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Deposition Kinetics and Narrow-Gap-Filling in Cu Thin Film Growth from Supercritical Carbon Dioxide Fluids (2008)
  • 著者名/発表者名: Eiichi Kondoh and Junpei Fukuda
  • 雑誌名: Journal of Supercritical Fluids 44 ページ: 466-474
  • 査読あり
• [雑誌論文] Condensation and cleaning of a metalorganic copper compound to from porous low-dielectric constant thin films in su-percritical carbon dioxide (2008)
  • 著者名/発表者名: E. Kondoh, E. Ukai, and S. Aruga
  • 雑誌名: physica status solidi c, 5 ページ: 1219-1222
  • 査読あり
• [雑誌論文] Jasco report (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 雑誌名: 超臨界流体中薄膜エリプソメトリ ページ: 18-21
  • 査読あり
• [雑誌論文] Reduction of thin oxidized copper films using a hot-filament hydrogen radical source (2007)
  • 著者名/発表者名: E. Kondoh, M. Fukasawa, and T. Ojimi
  • 雑誌名: Journal of Vacuume Science and Technology 25 ページ: 415-420
  • 査読あり
• [雑誌論文] 超臨界流体を利用した薄膜形成技術とMEMS・NEMS 応用 (2007)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 雑誌名: Material Stage Vol.7, No.5 ページ: 21-24
• [雑誌論文] 表面技術協会,超臨界流体を利用した薄膜形成技術 (2006)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 雑誌名: 表面技術 Vol.57, No.10 ページ: 695-700
• [学会発表] 超臨界流体中エリプソメトリを用いた多孔質膜細孔度評価の検討 (2009)
  • 著者名/発表者名: 小高和也, 有賀庄作, 近藤英一
  • 学会等名: 2009 年春季第56回応用物理学関係連合講演会
  • 年月日: 20090330-0402
• [学会発表] 超臨界流体を利用した超ミクロ細孔の連結度評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: .近藤英一, 有賀庄作, 伊藤文則, 林喜弘
  • 学会等名: 化学工学会第74年会
  • 年月日: 20090318-20
• [学会発表] 超臨界流体中有機金属還元法による金属薄膜堆積 (2009)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 学会等名: (社)表面技術協会第119回講演大会
  • 年月日: 20090316-18
• [学会発表] A fast new approach for evaluating the connectivity of micropores(<2nm)and supermicropores(<0.5mn) in low-k thin films (2008)
  • 著者名/発表者名: Eiichi Kondoh, Shosaku Aruga,Fuminori Ito and Yoshinori Hayashi
  • 学会等名: Advanced Metallization Conference Asian Session 2008
  • 発表場所: The University of Tokyo
  • 年月日: 20081009-10
• [学会発表] 各種低密度薄膜の超臨界流体中でのその場エリプソメトリー観測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 有賀庄作, 斉藤雄亮, 米山明里, 小高和也, 玉井架, 近藤英一
  • 学会等名: 化学工学会 第40 回秋季大会
  • 年月日: 20080924-46
• [学会発表] 超臨界流体を用いた各種細胞からの核酸のとりだし (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 堀内愛, 御園生拓
  • 学会等名: 化学工学会 第40回秋季大会
  • 年月日: 20080924-26
• [学会発表] Nanorod formation via topography-sensitive deposition in supercritical solutions (2008)
  • 著者名/発表者名: Eiichi Kondoh, Michiru Hirose, Eiichi Ukai, Kodai Nagano, Junju Yamanaka, Chiaya Yamamoto
  • 学会等名: MNE2008
  • 発表場所: Athens Hilton Hotel Greece
  • 年月日: 20080915-19
• [学会発表] 超臨界流体中エリプソメトリを用いた多孔質low-k 膜の開孔性評価法の検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: .有賀庄作, 齊藤雄亮, 米山明里, 近藤英一
  • 学会等名: 2008 年秋季第69回応用物理学会学術講演会
  • 年月日: 20080902-05
• [学会発表] Cu filmd eposition from super critical carbon dioxide fluids for 3D-IC THRU via formation (2008)
  • 著者名/発表者名: Masahiro Matsubara, Eiichi Kondoh
  • 学会等名: 11th European Meeting on Supercritical Fluids
  • 発表場所: Serhs Campus Hotel, Barcelona,Spain
  • 年月日: 20080504-07
• [学会発表] 超臨界CO2 堆積法を用いたMEMS 貫通電極ヴィア孔内のCu 薄膜形成(フロー方式第6 報) (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 松原正弘
  • 学会等名: 2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • 年月日: 20080327-30
• [学会発表] 多孔質Low-k 膜を超臨界二酸化炭素洗浄した際の共溶媒の挙動 (2008)
  • 著者名/発表者名: 有賀庄作, 小高和也, 近藤英一
  • 学会等名: 2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • 年月日: 20080327-30
• [学会発表] βジケトン錯体原料を用いたフロー式Cu 薄膜堆積の堆積特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松原正弘, 近藤英一
  • 学会等名: 化学工学会第73 年会
  • 年月日: 20080317-19
• [学会発表] In-situ 偏光解析法による超臨界流体中での有機金属浸透のモニタリング (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 有賀庄作, 鵜飼栄一
  • 学会等名: 化学工学会第73 年会
  • 年月日: 20080317-19
• [学会発表] 超臨界CO2 流体を利用したDNA 抽出の試み (2008)
  • 著者名/発表者名: .近藤英一, 堀内愛, 御園生拓
  • 学会等名: 化学工学会第73年会
  • 年月日: 20080317-19
• [学会発表] フロー超臨界薄膜装置による薄膜の堆積特性と長時間成膜への適用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 松原正弘
  • 学会等名: 日本機械学会第14期総会講演会
  • 年月日: 20080314-15
• [学会発表] Si ナノホールの作製と超臨界CO_2によるCu 埋め込み, (2008)
  • 著者名/発表者名: 玉井架, 松原正弘, 近藤英一, 李佳龍(阪大), 松村道雄
  • 学会等名: 日本機械学会第15 期総会講演会
  • 年月日: 20080306-07
• [学会発表] 超臨界流体を用いたCu薄膜堆積~成膜特性検討と貫通電極プロセスへの適用の試み (2008)
  • 著者名/発表者名: 松原正弘, 近藤英一
  • 学会等名: 電子材料研究会
  • 年月日: 2008-05-19
• [学会発表] Deposition of Oxide Thin Films in Supercritical Carbon Dioxide Fluids (2007)
  • 著者名/発表者名: E. Kondoh
  • 学会等名: the Sixth Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing
  • 発表場所: ICC Cheju
  • 年月日: 20071105-07
• [学会発表] Bottom-up interconnect formation possibility using supercritical fluids: beyond scalability (2007)
  • 著者名/発表者名: E. Kondoh
  • 学会等名: The International Conference "Micro-and nanoelectronics-2007"(ICMNE-2007) and co-located Symosium"Quantum Informatics-2007"(QI-2007) will be held at the holiday hotel "Lipki"
  • 発表場所: Zvenigorod, Moscow region
  • 年月日: 20071001-05
• [学会発表] フロー堆積システムによるCu薄膜堆積 (2007)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 廣瀬みちる, 福田順平, 松原正弘
  • 学会等名: 化学工学会第39回秋季大会
  • 年月日: 20070913-15
• [学会発表] 超臨界二酸化炭素中その場偏光解析法の開発(2)~多孔質low-k 膜の洗浄過程の解析 (2007)
  • 著者名/発表者名: 有賀庄作, 鵜飼栄一, 近藤英一
  • 学会等名: 2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会
  • 年月日: 20070904-08
• [学会発表] 機能性高密度流体プロセッシング (2007)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 学会等名: 2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会講演
  • 年月日: 20070904-08
• [学会発表] In-situ ellipsometric study on the condensation and cleanign of a metalorganic copper compond to/from porous low-k thin films in supercritical carbon dioxide (2007)
  • 著者名/発表者名: E. Kondoh
  • 学会等名: 12th International Symposium on Chemical-Mechanical Plarnization
  • 発表場所: Lake Placid, NY, USA
  • 年月日: 20070812-15
• [学会発表] Condensation and cleaning of an orgnometallic copper com-pound to/from porous low-dielectric constant thin films in su-percritical carbon dioxide (2007)
  • 著者名/発表者名: E. Kondoh, E. Ukai, and S. Aruga
  • 学会等名: The 4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE4)
  • 発表場所: Stockholm, Sweden
  • 年月日: 20070611-15
• [学会発表] Novel "Topography-sensitive" Bottom-up mode for Filling Nano-features Using Superciritical Fluids as a Deposition Medium (2007)
  • 著者名/発表者名: E.Kondoh and M. Hirose
  • 学会等名: MRS 2007 Spring Meeting Symposium D: Deposition on Nonplanar Substrates
  • 発表場所: San Francisco
  • 年月日: 20070409-13
• [学会発表] 超臨界流体中薄膜堆積法における「形状敏感」堆積モード : Beyond Scalability (2007)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 廣瀬みちる, 鵜飼栄一, 有賀庄作, 長能広大
  • 学会等名: 2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会
  • 年月日: 20070327-30
• [学会発表] 超臨界二酸化炭素中その場偏光解析法の開発~多孔質low-k 膜の洗浄過程の解析 (2007)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 有賀庄作
  • 学会等名: 第1回偏光計測研究会
  • 年月日: 2007-11-16
• [学会発表] Metalization using supercritical fluids for post-scalability ULSI processing,8th Seminar Porous Glasses-Special Glasses; (2007)
  • 著者名/発表者名: E. Kondoh
  • 学会等名: Porous Glass Technology for Detection of Chemical Agents
  • 発表場所: in Wroclaw/Szklarska Poreba, Poland from the 4
  • 年月日: 2007-09-08
• [学会発表] 超臨界流体の配線技術への応用 (2007)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 廣瀬みちる
  • 学会等名: 日本機械学会関東支部2007年総会・講演会
  • 年月日: 2007-03-16
• [学会発表] Kinetics and Narrow-Gap Filling in Cu Thin Film Deposition from Supercritical Carbon Dioxide Fluids-Precise and Reliable Experiments using a Flow-Type Deposition Processor (2006)
  • 著者名/発表者名: E. Kondoh, M. Hirose and J. Fukuda
  • 学会等名: Advanced Metallization Conference 2006: 16th Asian Session, Sept
  • 発表場所: The University of Tokyo
  • 年月日: 20060925-27
• [学会発表] Nanostructure formation using supercritical fluids (2006)
  • 著者名/発表者名: E.kondoh
  • 学会等名: 32nd International Conference on Micro- and Nano- Engineering (MNE06)
  • 発表場所: Barcelona WTC, Spain
  • 年月日: 20060918-20
• [学会発表] 超臨界流体をもちいたZnO 薄膜の堆積 (2006)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一, 佐々木健二
  • 学会等名: 2006 年第67 回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 立命館大学びわこくさつキャンパス
  • 年月日: 20060829-30
• [学会発表] フロー方式超臨界薄膜堆積装置の開発とCu成膜特性(フロー方式第5報)-全流体型システムの構築 (2006)
  • 著者名/発表者名: 廣瀬みちる, 小林直, 近藤英一
  • 学会等名: 2006年第67回応用物理学会学術講演会
  • 年月日: 20060829-0901
• [学会発表] 超臨界流体を利用した薄膜形成技術 (2006)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 学会等名: 産業技術総合研究所new-SIC研究会第3回研究会
  • 年月日: 2006-09-20
• [図書] 超臨界流体技術の開発と応用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 総ページ数: 112-122
  • 出版者: CMC出版
• [図書] 薄膜ハンドブック (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 総ページ数: 126-129
  • 出版者: オーム社
• [図書] 最近の化学工学58超臨界流体技術の実用化最前線 (2007)
  • 著者名/発表者名: 近藤英一
  • 総ページ数: 58-65
  • 出版者: 化学工業社