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2007 年度 実績報告書

圧電トランスを用いた小型プラズマリアクタの開発

研究課題

研究課題/領域番号 18360140
研究機関千葉工業大学

研究代表者

伊藤 晴雄  千葉工業大学, 工学部, 教授 (90083849)

研究分担者 鈴木 進  千葉工業大学, 工学部, 准教授 (00265472)
寺西 研二  徳島大学, 大学院, 助教 (80435403)
下村 直行  徳島大学, 大学院, 准教授 (90226283)
キーワード圧電トランス / プラズマリアクタ / 誘電体バリア放電 / 電子放出 / 自己組織化
研究概要

本年度はPT型ブラズマリアクタをオゾン発生器とエキシマランプに応用する研究を推進した。オゾン発生器については、2枚のPTの並列運転を利用した誘電体バリア放電(DBD)型オゾン発生器を用いて、DBDの誘電体電極材料がオゾン生成特性に及ぼす影響を中心に検討した。ここでは、誘電体電極材料の熱伝導率に着目し、4つの異なる熱伝導率を有する誘電体材料を電極とした際のDBDの電気的特性や連続運転時のオゾン濃度時間変化を測定した。その結果、熱伝導率の高い誘電体電極材料ほど、高濃度のオゾンが得られることが分かった。これは熱伝導率の高い材料を誘電体電極として用いることでリアクタ内部の放熱が促進し、熱によるオゾン分解が抑止できたためと考えられる。又、オゾン濃度は電極材料により異なる放電状態にも強く依存することから、DBD型オゾン発生器ではリアクタ内部の温度上昇を抑えること、放電状態を制御するという2つの観点からの電極材料選定が重要である。エキシマランプについては、Ar中でのエキシマ光126nmのVUVを放射、発光させることに成功し、放電時分光特性を収集すると共に、ArやHe中で観測される自己組織化現象の発生条件を調べた。これらの成果は国内の電気学会、放電学会、日本オゾン協会などで口頭発表を行い、2007年7月にチェコ共和国で開催された第28回電離気体現象国際会議でポスター発表を行った。また、これらを2篇の論文にまとめて投稿し、掲載が決定している。

  • 研究成果

    (24件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (19件)

  • [雑誌論文] VUV Spectroscopic Measurement for Dielectric Barrier Discharge Excitedl by Piezoelectrkric Transformer in He-Xe Mixture2008

    • 著者名/発表者名
      Kenji Teranishi
    • 雑誌名

      IEEE Trants.Plasma Sci. 36(掲載決定)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Organized Patterns of Dielectric Barrier Discharge Generated by Piezoelectric Transformer2008

    • 著者名/発表者名
      Haruo Itoh
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Plasma Sci. 36(掲載決定)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Compact Excimer Lamp Consteructed by Piezoelectric Transformer2007

    • 著者名/発表者名
      Kenji Teranishi
    • 雑誌名

      Journal of Light and Visual Environment 31

      ページ: 5-10

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Observation of VUV Emission Spectra from DC Positive Corona Discharge2007

    • 著者名/発表者名
      Yasuhide Kashiwagi
    • 雑誌名

      IEEJ Trans.FM 127

      ページ: 537-542

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Extreme Decrease of Ozone Product Using High Pure Oxygen2007

    • 著者名/発表者名
      Masaki Taguchi
    • 雑誌名

      Plasma Process.Polym 4

      ページ: 719-727

    • 査読あり
  • [学会発表] 沿面放電の伸展に及ぼす真空紫外光の影響2008

    • 著者名/発表者名
      伊藤 宏成
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-21
  • [学会発表] 放電中の酸素およびオゾンに関する基礎データPart.2 無声放電型オゾン発生器の技術動向2008

    • 著者名/発表者名
      伊藤 晴雄
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-21
  • [学会発表] MgO薄膜の二次電離係数2008

    • 著者名/発表者名
      鈴木 進
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-21
  • [学会発表] 圧電トランスによる誘電体バリア放電の自己組織化現象2008

    • 著者名/発表者名
      橋本祥英
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-19
  • [学会発表] DBD型オゾン発生器の誘電体電極材料がオゾン生成に及ぼす影響2008

    • 著者名/発表者名
      寺西研二
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-19
  • [学会発表] N2(A3Σ+u)のホルムアルデヒドによる衝突脱励起反応速度係数の決定2008

    • 著者名/発表者名
      鈴木 進
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-19
  • [学会発表] Ar中における二次電離係数の検討2008

    • 著者名/発表者名
      今野 和弥
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-19
  • [学会発表] オゾンゼロ現象の実験的研究2008

    • 著者名/発表者名
      松村 直明
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-19
  • [学会発表] 円筒容器表面におけるオゾン消滅率と表面状態2008

    • 著者名/発表者名
      伴 清孝
    • 学会等名
      平成20年電気学会全国大会
    • 発表場所
      福岡工業大学(福岡県)
    • 年月日
      2008-03-19
  • [学会発表] 大気圧下におけるTownsend放電の成立機溝2008

    • 著者名/発表者名
      伊藤 晴雄
    • 学会等名
      電気学会放電研究会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2008-03-10
  • [学会発表] MgO薄膜の工次電子放出係数の検討2007

    • 著者名/発表者名
      鈴木 進
    • 学会等名
      第22回 光源物性とその応用研究会資料
    • 発表場所
      名古屋工業大学(名古屋)
    • 年月日
      2007-12-07
  • [学会発表] 沿面放電の伸展に及ぼす真空紫外光の影響2007

    • 著者名/発表者名
      伊藤 宏成
    • 学会等名
      2007年放電学会年次大会
    • 発表場所
      芝浦工業大学(東京都)
    • 年月日
      2007-11-15
  • [学会発表] 材料表面におけるオゾン消滅率と表面状態2007

    • 著者名/発表者名
      伴清 孝
    • 学会等名
      2007年放電学会年次大会
    • 発表場所
      芝浦工業大学(東京都)
    • 年月日
      2007-11-15
  • [学会発表] 圧電トランスを用いたDBD型オゾン発生器の開発2007

    • 著者名/発表者名
      寺西研二
    • 学会等名
      電気学会プラズマ/放電合同研究会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2007-09-14
  • [学会発表] N2(A3Σ+u)の大気汚染物質による衝突脱励起反応速度係数の決定2007

    • 著者名/発表者名
      鈴木 進
    • 学会等名
      電気学会プラズマ/放電合同研究会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2007-09-13
  • [学会発表] Discharge Plasmas Generated by Piezoelectric Transformer and and Their Applications:Material Effect of Dielectric Barrier Electrode on Ozone Generation2007

    • 著者名/発表者名
      Kenji Teranishi
    • 学会等名
      28th International Conference on phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Prague,Czech Republic
    • 年月日
      2007-07-17
  • [学会発表] Discharge Plasmas Generated by Piezoelectric Transformer and Their Applications:VUV Emission from Xe and Ar Excimers2007

    • 著者名/発表者名
      Haruo Itoh
    • 学会等名
      28th International Conference on Phenomena in Ionize Gases
    • 発表場所
      Prague,Czech Republic
    • 年月日
      2007-07-17
  • [学会発表] Determination of Collisional Quenching Rate Coefficient of N2(A3Σ+u)bv Air Pollutans2007

    • 著者名/発表者名
      Susumu Suzuki
    • 学会等名
      28th International Conferenoe on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Prague,Czech Republic
    • 年月日
      2007-07-17
  • [学会発表] 圧電トランスの並列運転を利用したオゾン発生器.2007

    • 著者名/発表者名
      寺西 研二
    • 学会等名
      第17回日本オゾン協会年次研究講演会
    • 発表場所
      松山市(愛媛県)
    • 年月日
      2007-06-15

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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