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2006 年度 実績報告書

RF制御による光周波数コムを利用した3次元顕微鏡の研究

研究課題

研究課題/領域番号 18360164
研究機関東京農工大学

研究代表者

黒川 隆志  東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 教授 (40302913)

研究分担者 塩田 達俊  東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 助手 (10376858)
武田 光夫  電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (00114926)
キーワードセンシング / 光計測
研究概要

(1)コム発生系の広帯域化と深さ分解能の改善
研究開始当初に得られていたコム発生器の3dB帯域(高々1THz程度)を3倍以上に広帯域化した。まず、シミュレーションにより、コムスペクトルのエンベロープを平坦にするための適切なフィルタ特性の設定を行った。さらにシミュレーション結果を元に、実際に多層膜フィルタを試作した。コム発生器の後段に試作した等価フィルタと光増幅器を設置し、コムのスペクトル帯域が約3倍広帯域化したことを確認した。これを光源として光干渉計へ適用した結果、適用前に100μmだった深さ分解能は、40μm以下に改善された。
(2)空間光学干渉計の設計と構築
1次元イメージセンサを用いた空間光学干渉計の設計と製作を行った。横(水平)方向空間分解能は8μmとなり、光コヒーレンストモグラフィヘ応用できることを確認した。
(3)3次元顕微鏡の基本動作の確認
コム間隔周波数の掃引、イメージセンサの制御とデータ取得を一括してコンピュータ制御する系を構築して、3次元顕微鏡の基本動作を確認した。基本的な3次元画像として10円玉表面の凹凸形状を計測して"十"文宇を深さ分解能40μm以下、水平方向分解能8μm程度で鮮明な画像が得られることを示した。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (8件)

  • [雑誌論文] 光周波数コムとリニア・イメージセンサを用いた3次元計測2007

    • 著者名/発表者名
      崔 森悦
    • 雑誌名

      第54回応用物理学関係連合講演会 28p-S-14

  • [雑誌論文] Interferometer for profilometry and tomography using waveguide-type frequency comb generator2006

    • 著者名/発表者名
      S.Choi
    • 雑誌名

      CLEO/QELS2006, CMY7

  • [雑誌論文] Frequency-comb-based interferometer for profilometry and tomography2006

    • 著者名/発表者名
      S.Choi
    • 雑誌名

      Optics Letters Vol.31・No.13

      ページ: 1976-1978

  • [雑誌論文] Frequency Comb-based Interferometry Using a Line-type Image Sensor2006

    • 著者名/発表者名
      S.Choi
    • 雑誌名

      12th Microoptics Conference H-3

      ページ: 214-215

  • [雑誌論文] Effect of Fraday Rotator Elements in Fiber-optic Interferometer2006

    • 著者名/発表者名
      D.Moteki
    • 雑誌名

      12th Microoptics Conference P-19

      ページ: 146-147

  • [雑誌論文] 光周波数コム光源を用いた形状計測と膜厚測定2006

    • 著者名/発表者名
      崔 森悦
    • 雑誌名

      第37回光波センシング技術研究会 LST37-6

      ページ: 41-46

  • [雑誌論文] 周波数コムとライセンサを用いた形状計測2006

    • 著者名/発表者名
      崔 森悦
    • 雑誌名

      21世紀COEプログラム第3回合同シンポジウム P49

      ページ: 63

  • [雑誌論文] ファラデー回転素子による光ファイバ干渉計の計測精度の向上2006

    • 著者名/発表者名
      茂手木大輔
    • 雑誌名

      第37回光波センシング技術研究会 LST37-9

      ページ: 59-65

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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