周期的ナノ細孔シリカおよびリン酸塩薄膜の合成と電子デバイスへの応用

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18360374
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 化工物性・移動操作・単位操作
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 上山 惟一 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (10092149)
• 研究分担者: 西山 憲和 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 准教授 (10283730)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: 構造・機能材料 / ナノ材料 / 燃料電池 / 電子 / 電気材料 / 薄膜

研究概要

規則配列した均一メソ孔を有するメソポーラスシリカの薄膜化を行った。メソポーラスシリカ薄膜の熱的、機械的安定性を向上させるために界面活性剤(有機テンプレート)薄膜にシリカ源を蒸気で供給する合成手法(蒸気合成法)を開発した。次世代Low-k材料や燃料電池電解質膜の開発を目指して、蒸気合成したシリカ薄膜およびリン酸シリケート薄膜の誘電率やプロトン伝導性を測定し、その可能性を示した

研究成果

• [雑誌論文] Synthesis of 3D pore mesostructured silica films by vapor infiltration of tetraethoxysilane (2008)
  • 著者名/発表者名: Takanori Maruo, Kaori Nagata, Norikazu Nishiyama, Yasuyuki Egashira and Korekazu Ueyama
  • 雑誌名: J. Colloid Interface Sci 328 ページ: 120-123
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vapor phase synthesis of mesoporous silica thin films with a 3D pore structure (2008)
  • 著者名/発表者名: Takanori Maruo, Kaori Nagata, Norikazu Nishiyama, Yasuyuki Egashira, Korekazu Ueyama, Christopher P. Muzzillo, Michael P. Tate, Hugh W. Hillhouse
  • 雑誌名: Stud. Surf. Sci. Catal 174A ページ: 417-420
  • 査読あり
• [雑誌論文] Disordered Mesoporous Silica Low-k Thin Films Prepared by Vapor Deposition into a Triblock Copolymer Template Film (2008)
  • 著者名/発表者名: Takanori Maruo, Shunsuke Tanaka, Hugh W. Hillhouse, Norikazu Nishiyama, Yasuyuki Egashira, and Korekazu Ueyama
  • 雑誌名: Thin Solid Films 516 ページ: 4771-4776
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low-index mesoporous silica films modified with trimethylethoxysilane (2008)
  • 著者名/発表者名: Takanori Maruo, Shunsuke Tanaka, Norikazu Nishiyama, Ken-ichiro Motoda, Katsuya Funayama, Yasuyuki Egashira, and Korekazu Ueyama
  • 雑誌名: Colloids and Surfaces A 318 ページ: 84-87
  • 査読あり
• [雑誌論文] Proton-conducting mesoporous silica/phosphate composite films prepared by vapor phase method (2008)
  • 著者名/発表者名: Yuko Nishiyama, Kentaro Ochi, Norikazu Nishiyama, Yasuyuki Egashira and Korekazu Ueyama
  • 雑誌名: Electrochemical and Solid-State Letters 11 ページ: B6-B9
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vapor Phase Synthesis of Ordered Mesoporous Silica-Phosphate Complex Films and Their Proton Conductivity (2007)
  • 著者名/発表者名: Norikazu Nishiyama, Yuko Nishiyama, Kentaro Ochi, Yasuyuki Egashira, Korekazu Ueyama
  • 雑誌名: Conductivity" Stud. Surf. Sci. Catal 170 ページ: 1912-1917
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vapor Phase Preparations of Mesoporous Silica Thin Films for Ultra-Low-k Dielectrics (2007)
  • 著者名/発表者名: Shunsuke Tanaka, Takanori Maruo, Norikazu Nishiyama, Korekazu Ueyama, Hugh W. Hillhouse
  • 雑誌名: Stud. Surf. Sci. Catal 165 ページ: 595-598
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vapor Phase Synthesis of Mesoporous SiO_2-P_2O_5 Thin Films (2007)
  • 著者名/発表者名: Norikazu Nishiyama, Junji Kaihara, Yuko Nishiyama, Yasuyuki Egashira, Korekazu Ueyama
  • 雑誌名: Langmuir 23 ページ: 4746-4748
  • 査読あり
• [雑誌論文] Synthesis of Ordered Mesoporous Zirconium Phosphate Films by Spin Coating and Vapor Treatments (2006)
  • 著者名/発表者名: Yuko Nishiyama, Shunsuke Tanaka, Hugh W. Hillhouse, Norikazu Nishiyama, Yasuyuki Egashira, Korekazu Ueyama
  • 雑誌名: Langmuir 22 ページ: 9469-9472
  • 査読あり
• [学会発表] Vapor phase synthesis of mesoporous silica thin films with a 3D pore structure (2008)
  • 著者名/発表者名: Takanori Maruo, Kaori Nagata, Norikazu Nishiyama, Yasuyuki Egashira, Korekazu Ueyama, Christopher P. Muzzillo, Michael P. Tate and Hugh W. Hillhouse
  • 学会等名: 4th FEZA Conference, Paris
  • 発表場所: France
  • 年月日: 20080902-06
• [学会発表] Proton Conductive Silicate/Phosphate Composite Membranes (2008)
  • 著者名/発表者名: Yuko Nishiyama, Norikazu Nishiyama, Yasuyuki Egashira and Korekazu Ueyama
  • 学会等名: 6th spring meeting of International Society of Electrochemistry, Foz do Iguacu
  • 発表場所: Brazil
  • 年月日: 20080316-19
• [学会発表] Vapor Phase Synthesis of Ordered Mesoporous Silicon Phosphate Films and Their Proton Conductivity (2007)
  • 著者名/発表者名: Norikazu Nishiyama, Yuko Nishiyama, Kentaro Ochi, Yasuyuki Egashira, Korekazu Ueyama
  • 学会等名: IZC
  • 発表場所: Beijing, Chin
  • 年月日: 20070812-17
• [学会発表] Vapor Phase Synthesis of Mesoporous Silica Low-k films (2007)
  • 著者名/発表者名: Takanori Maruo, Shunsuke Tanaka, Norikazu Nishiyama,, Yasuyuki Egashira, Korekazu Ueyama
  • 学会等名: IZC
  • 発表場所: Beijing, China
  • 年月日: 20070812-17
• [学会発表] Synthesis of Ordered Mesoporous Zirconium Phosphate Films and Their Proton Conductivity (2006)
  • 著者名/発表者名: Yuko Nishiyama, Shunsuke Tanaka, Norikazu Nishiyama, Yasuyuki Egashira, Korekazu Ueyama
  • 学会等名: 210th Meeting of Electrochemical Society (210th ECS)
  • 発表場所: Cancun, Mexico
  • 年月日: 20061029-11