| 研究課題/領域番号 |
18360376
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| 研究機関 | 広島大学 |
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研究代表者 |
島田 学 広島大学, 大学院工学研究科, 教授 (70178953)
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| 研究分担者 |
奥山 喜久夫 広島大学, 大学院工学研究科, 教授 (00101197)
ウレット レンゴロ 東京農工大学, 大学院共生科学技術研究院, 助教授 (10304403)
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| キーワード | ドライプロセス / ナノ粒子 / エアロゾル / 気中イオン / 薄膜 / 移動現象 / 付着 / プラズマ場 |
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| 研究概要 |
本研究では、薄膜形成のためのドライプロセスにおいて、クラスター状の気中浮遊物質の堆種が有効となったり、あるいは望ましくなくなったりする条件を明らかにするために、クラスターおよびナノ粒子を固体表面に気相輸送し、付着させて、これにより生じる薄膜の形態などの性状と付着・堆積条件との関係を、主に実験的に解明することを目的として研究を行った。本年度の研究成果の概要は、以下のとおりである。
1.サイズが約20〜1nmの金属や金属酸化物のナノ粒子・クラスターを常圧および減圧のガス中で発生できる装置を製作した。また、0.8kPa程度の減圧までガス中浮遊状態で粒子を分級出来る微分型静電分級器と、サイズが3nm未満のナノ粒子、クラスター状物質および気中イオンを検出・計数できる粒子径拡大器の性能の向上と評価を行い、これらを組み合わせて、発生装置の操作条件による粒子・クラスターの性状の変化の関係を把握した。
2.ナノ粒子・クラスターを導入して、その輸送状態を、電場、流速、圧力等を制御することにより変化させられる堆積装置を製作した。この堆積装置に試験表面としてシリコンウェハの小片を設置し、ナノ粒子・クラスターを導入して、予備的堆積実験を行った。堆積速度や表面形態の確認により、次年度以降の堆積実験のための適切な条件を探索中である。
3.クラスターの性状およびクラスターが輸送される場の条件を考慮した、クラスターの壁面輸送モデルを導き、理論的計算を実行することに着手した。
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