パルス電流を用いた電気化学的手法による酸化亜鉛のシリコン直上成長と太陽電池応用

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18550181
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 無機工業材料
• 研究機関: 大阪府立大学
• 研究代表者: 芦田 淳 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60231908)
• 研究分担者: 脇田 和樹 千葉工業大学, 工学部, 教授 (80201151) ; 沈 用球 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20336803) ; 池永 明 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60128759)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: 結晶 / 多結晶材料

研究概要

本研究では、まず金属基板上で電気化学堆積法による酸化亜鉛薄膜の成長条件を詳細に検討した。また電気伝導特性評価のため、極薄の酸化亜鉛上に成長させた。供給する電流をパルス化することで伝導特性が変化した。この原因として溶液中での再溶解による欠陥生成の抑制が考えられる。これらの結果を基に成長条件を検討し、(100)および(111)Si基板上に多結晶酸化亜鉛薄膜を得ることに成功した。

研究成果

• [雑誌論文] ZnO Thin Films Epitaxially Grown by Electrochemical Deposition Method with Constant Current (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Ashida, A. Fujita, Y. Shim, K. Wakita and A. Nakahira
  • 雑誌名: Thin Solid Films 517 ページ: 1461-1464
  • 査読あり
• [雑誌論文] ZnO Thin Films Prepared by the Electrochemical Method with Various Electrolytic Current (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Fujita, A. Ashida and A. Nakahira
  • 雑誌名: Transactions of the Materials Research Society of Japan 33 ページ: 1301-1304
  • 査読あり
• [学会発表] Control of cathodic potential for deposition of ZnO by constant current electrochemical method (2009)
  • 著者名/発表者名: N. Nouzu, A. Ashida, T. Yoshimura and N. Fujimura
  • 学会等名: 6th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2009-04-15
• [学会発表] 電気化学堆積法によるZnO結晶粒の形態制御 (2009)
  • 著者名/発表者名: 能津直哉、先山晴香、芦田淳、吉村武、藤村紀文
  • 学会等名: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 茨城県つくば市
  • 年月日: 2009-04-02
• [学会発表] 電気化学堆積法によるCNT上ZnOナノ結晶の作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 先山晴香、吉村武、芦田淳、藤村紀文
  • 発表場所: 茨城県つくば市
  • 年月日: 2009-04-02
• [学会発表] CNTを用いたZnOナノ結晶の電気化学的成長 (2009)
  • 著者名/発表者名: 先山晴香、吉村武、芦田淳、藤村紀文
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2009年年会
  • 発表場所: 千葉県野田市
  • 年月日: 2009-03-16
• [学会発表] 電気化学的堆積法によるPt(111)/sapphire(0001)上ZnOエピタキシャル薄膜の結晶形態制御 (2008)
  • 著者名/発表者名: 先山晴香、能津直哉、芦田淳、益子慶一郎、吉村武、藤村紀文
  • 学会等名: 第67回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛知県春日井市
  • 年月日: 2008-09-04
• [学会発表] 電気化学的堆積法による多結晶Au基板上ZnO薄膜の結晶形態制御 (2008)
  • 著者名/発表者名: 芦田淳、藤田章雄、先山晴香、吉村武、藤村紀文、中平敦
  • 学会等名: 第67回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛知県春日井市
  • 年月日: 2008-09-04
• [学会発表] ZnO Thin Films Grown by Electrochemical Deposition Method with Constant Current (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Ashida, A. Fujita, Y. Shim, K. Wakita and A. Nakahira
  • 学会等名: 2nd International Symposium on the Manipulation of Advanced Smart Materials
  • 発表場所: Hyogo, Japan
  • 年月日: 2008-05-28
• [学会発表] 電気化学的手法による酸化亜鉛製膜における紫外線照射効果 (2008)
  • 著者名/発表者名: 芦田淳、藤田章雄、則政弘太郎、門田太郎、中平敦
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2008年年会
  • 発表場所: 新潟県長岡市
  • 年月日: 2008-03-20
• [学会発表] ZnO Thin Films Prepared by the Electrochemical Method with Various Electrolytic Current (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Fujita, A. Ashida and A. Nakahira
  • 学会等名: 18th Symposia of Material Research Society of Japan
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2007-12-08
• [学会発表] Epitaxial Growth of ZnO Thin Films by Electrochemical Deposition Method (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Ashida, A. Fujita, K. Norimasa, Y. Shim, K. Wakita and A. Nakahira
  • 学会等名: the 15th International Conference on Crystal Growth in conjunction with the 13th Conference on Vapor Growth and Epitaxy and the US Biennial Workshop on Organometallic Vapor Phase Epitaxy
  • 発表場所: Salt Lake City, USA
  • 年月日: 2007-08-13
• [学会発表] ZnO Thin Films Prepared by Electrochemical Deposition Method with Pulsed Electrolytic Current (2007)
  • 著者名/発表者名: A. Ashida, T. Okuma and T. Nagata
  • 学会等名: 2007 International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies
  • 発表場所: Nagano, Japan
  • 年月日: 2007-06-20
• [学会発表] 電気化学的堆積法によるZnO薄膜の成長速度依存性 (2006)
  • 著者名/発表者名: 藤田章雄、芦田淳、中平敦
  • 学会等名: 第36回結晶成長国内会議
  • 発表場所: 大阪府吹田市
  • 年月日: 2006-11-01
• [学会発表] 電気化学的手法による(111)Pt/c-sapphireおよび(111)Si上ZnO薄膜の作製 (2006)
  • 著者名/発表者名: 藤田章雄、芦田淳、中平敦
  • 学会等名: 第66回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 滋賀県草津市
  • 年月日: 2006-08-29
• [学会発表] 電気化学的堆積法による単結晶基板上への高品位ZnO薄膜成長 (2006)
  • 著者名/発表者名: 藤田章雄、芦田淳、沈用球、脇田和樹、中平敦
  • 学会等名: 日本セラミックス協会関西支部第1回関西支部学術講演会
  • 発表場所: 京都府宇治市
  • 年月日: 2006-07-20
• [備考] 大阪府立大学教員活動情報
  • URL: http://gweb.acs.osakafu-u.ac.jp:7780/kyoinkensaku/