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2007 年度 実績報告書

ナノスケール相変化メモリーの極限記録密度のメカニズム解明

研究課題

研究課題/領域番号 18560001
研究機関北海道大学

研究代表者

田中 啓司  北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20002313)

キーワードDVD / 相変化 / 光記録 / 極限記録 / アモルファス / Ge-Sb-Te
研究概要

書き換え可能型光ディスクDVDの性能が日進月歩であるが,「DVDの記録密度はどこまで高められるか?」という疑問に答えようとしたのが,本研究の目的である.記録密度はマーク径を小さくすればするほど大きく出来るので,本研究の目的を「相変化マーク径はどれほど小さくできるか?」を明らかにすることと言い換えることもできる.ちなみに,現時点で商品化されている機器での最小マーク径は150nmと言われているが,これは記録に用いるレーザー光の波長で制限されたもので,記録膜自体はもっと小さなマークを保持できると予想された.
私は,波長による制限をのりこえて小さなマークをつくるために,電気相変化を用いることを思いついた.電気相変化なら,電極を小さくすれば,小さなマークを書けると思われたからである.さらに,小さな電極として,操作型トンネル顕微鏡STMや操作型原子間力顕微鏡AFMの探針を使うことを考えた.このような実験なら,クリーンルームのない大学の実験室でも,極限的な特性を調べることができると期待した.
実験の結果,最小マーク径は10nm程度であることがわかった.面白いことに,アモルファス膜に結晶マ一クを書いたときも,結晶膜にアモルファスマークを書いた(現行DVDの方式)ときも,最小マーク径は10nm程度となつた.したがって,将来の相変化メモリーの記録密度は1層あたり1TBを凌駕しうると予測できる.
以上の結果の原因を探った.その結果,結晶マークの最小径は熱力学的に理解できること,一方,アモルファスマークの最小径は結晶膜の結晶粒径で支配されていること,がわかった.
さらに,電気相変化の研究から,記録膜の不安定性を指摘することができた.

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (2件)

  • [雑誌論文] Un-stability of sputtered Ge_2Sb_2Te_5 films in electrical phase change2008

    • 著者名/発表者名
      A. Saitoh and K. Tanaka
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express 1

      ページ: 21501-21503

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Smallest(〜10 nm)phase-change marks in amorphous and crystalline Ge_2Sb_2Te_5 films2007

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka
    • 雑誌名

      J. Non-Cryst. Solids 353

      ページ: 1899-1903

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Comment on "Investigation of the optical and electronic properties of Ge_2Sb_2Te_5 phase change material in its amorphous, cubic, and hexagonal phases"2007

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 101

      ページ: 26111-26111

    • 査読あり
  • [学会発表] 電気相変化におけるGe_2Sb_2Te_5薄膜の不安定性2008

    • 著者名/発表者名
      斎藤 全, 田中啓司
    • 学会等名
      第55回応用物理学関連総合講演会
    • 発表場所
      船橋,日本大学
    • 年月日
      2008-03-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] Ultimate memory capacity of phase-change recordings2007

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka
    • 学会等名
      International Symposium on Optical Memory 2007
    • 発表場所
      Singapore, Suntec Center
    • 年月日
      2007-10-22

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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