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2006 年度 実績報告書

新しい低速原子散乱法による絶縁体表面ナノ構造の動的過程の観察

研究課題

研究課題/領域番号 18560023
研究種目

基盤研究(C)

研究機関大阪府立大学

研究代表者

梅澤 憲司  大阪府立大学, 総合教育研究機構, 助教授 (80213487)

研究分担者 上田 一之  豊田工業大学, 工学研究科, 教授 (60029121)
キーワード表面界面物性 / 絶縁体
研究概要

H18年度に行ったことは装置の新規開発である。絶縁体表面原子構造(表面第1原子層〜第3原子層)1を解析する自的で新しい低速原子散乱装置を自主開発した。ブラックボックスはない。低速原子ビームを生成するため、最初にイオンビームを生成するためのイオン源を自作した。その後に電荷交換反応を利用して電気的に中世な原子ビームを生成した・絶縁体表面に低速原子ビームを照射した際に得られるスペクトルを計測する方法として飛行時間計測法を採用した。検出器にはマイクロチャンネルプレート(MCP) を利用した。飛行時間計測にあたり様々な電子機器を自作しかつ、計測ソフトも自作した。具体的には、プリアンプ、アンプ、time-to-digital converter(時間デジタル変換器、時間分解能10 nsec、4ch)、パルスジェンレータ(50V,3ch独立)、マニェピュレータ回転用ステッピングモータ制御器である。低速原子散乱装置は電気的に中性なビーム(原子ビーム)を用いて絶縁体表面構造を原子レベルの分解能(0.1Å以下)で計測する特徴をもつ。一般に絶縁俸表面は電子線、イオンを照射しても電荷蓄積効果のため計測ができないがこの問題を解決し現在までに絶縁体試料表面原子からのスペクトルが計測できるまで開発が出来ている。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (2件) 図書 (1件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] 低速原子散乱装置の計測制御系2006

    • 著者名/発表者名
      成廣英介, 梅澤憲司, 中西繁光, 小田和文
    • 雑誌名

      真空 49巻、5号

      ページ: 273-276

  • [雑誌論文] Development of a low energy Ne atom scattering spectroscopy2006

    • 著者名/発表者名
      K.Umezawa, E.Narihiro, K.Oda, S.Nakanishi
    • 雑誌名

      Material Research Society Vol.908

      ページ: 0005-19-1

  • [図書] 表面物性工学ハンドブック「イオン散乱に関する項目」2007

    • 著者名/発表者名
      梅澤憲司, 尾浦憲治郎
    • 総ページ数
      1064(15)
    • 出版者
      丸善
  • [産業財産権] 表面分析装置2007

    • 発明者名
      梅澤憲司
    • 権利者名
      大阪府立大学
    • 産業財産権番号
      特願2007-16345
    • 出願年月日
      2007-01-26
  • [産業財産権] 中性ビーム発生装置2006

    • 発明者名
      梅澤憲司
    • 権利者名
      大阪府立大学
    • 産業財産権番号
      特許2006-277247
    • 出願年月日
      2006-10-11

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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