| 研究概要 |
非導電性研削ホイールのブリッジ放電ツルーイングを実現することを目的とし,電極の作成方法について検討した.2006年度は,ペルヒドロポリシラザンを電極表面にスプレー塗布することでSiO_2の絶縁層を形成し,導電性接着剤を用いて対となる電極と接着することで1対の電極を作成する方法について検討したが,この方法では絶縁層の厚さを制御することが困難であることがわかった.そこで,2007年度は電極の作成方法を再検討した.具体的には,ペルヒドロポリシラザンに変えて金属アルコキシドをバインダーとしたペースト状の耐熱性無機接着剤を,ジグを用いて電極表面に塗布し絶縁層を形成する方法について検討した.使用した耐熱性無機接着剤は,耐水性に優れる,電気絶縁性に優れる,1,400℃程度の高温に耐える,などの特徴を持っており,目的の電極の絶縁材料として適当であると考えられる.電極にペーストを塗布するためのジグは,リニアガイドとマイクロメータヘッド駆動によるステージから構成されており,これとダイヤルゲージを用いることで10ミクロンメートル程度の厚さにペースト状の耐熱性無機接着剤を塗布することができることを確認した.塗布した耐熱性無機接着剤を常温で30分,50℃で1時間,100℃で30分熱処理するとアルミナを主成分とする絶縁層が形成される.その後,導電性接着剤を絶縁層の上に塗布し,対となる電極と組み合わせた後,180℃で3時間加熱して導電性接着剤を硬化させ1対の電極を作成する方法を確立した.また,その一方で,縦型ツルーイング装置の設計試作を行った.
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