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2007 年度 研究成果報告書概要

連続体力学で制御された分子動力学によるマイクロ加工メカニズムの解析

研究課題

研究課題/領域番号 18560102
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

稲村 豊四郎  名古屋工業大学, 工学研究科, 教授 (60107539)

研究分担者 武澤 伸浩  名古屋工業大学, 工学研究科, 助教 (50236452)
研究期間 (年度) 2006 – 2007
キーワード分子動力学 / ヘルツ理論 / 欠陥 / クラック / 単結晶シリコン / シミュレーション / アモルファス / マイクロダイナミックス
研究概要

1. 本年度は、ヘルツ押し込み時のリングクラック形成に先立つ、初期欠陥の生成プロセスを詳細に検討した。まずヘルツ解析解変位場の中の圧子接触部外縁にMDモデルを埋め込み、変位分布にパラメータとして含まれる圧子押し込み荷重(押し込み深さ)を漸増させ、その時の変位分布の変化を使って解析解制御MDを実行した。
2. その結果、上記1のシミュレーション方法では、押し込み深さ7ミクロンでも欠陥は生成されないことが判明した。この結果は先在欠陥を前提とする既存の破壊理論を支持するように見えるが、実験的事実とは矛盾する。そこで圧子接触部外縁以外からの(弾塑性波の伝播などの)影響が、欠陥生成に関与していると予想した。
3. 上記2を踏まえ、圧子先端直下に対して上記1と同様の「解析解制御MD」を実行し、この部分でのアモルファス化と、その際の弾塑性波の放出を確認した。またこのアモルファス化は、圧子直下に続いて圧子接触部外縁下でも起きることを明らかにした。
4. 上記3で圧子先端直下および圧子接触部外縁下からの弾塑性波の放出が確認された為、上記1のシミュレーションを実行する際、アモルファス化で放出された外部振動を付加した。付加振動は周波数1THz、振幅2オングストローム程度で、これを付加すると圧子接触部外縁で欠陥が生成されることが判明した。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (2件)

  • [雑誌論文] Dynamic Phenomena at Mode I Crack Front in Silicon Simulated by Extended Molecular Dynamics2007

    • 著者名/発表者名
      T. Inamura, N. Takezawa, K. Shibuya, K. Yamada
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 56.1

      ページ: 561-564

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 解析解制御MDによる単結晶シリコン押し込み時のリングクラック生成メカニズム解析2007

    • 著者名/発表者名
      宍倉由記子、武澤伸浩、稲村豊四郎
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 (CD-ROM)

      ページ: 205-206

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [雑誌論文] Ring Crack Initiation on Monocrystalline Silicon Surface in Hertz Indentation Analyzed by using Analytical-Solution-Controlled Molecular Dynamics2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Shishikura, N. Takezawa, T. Inamura
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2007 JSPE Annual Conference 205-206

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] SPH-based Flow Simulation of Polishing Slurry Including Polished Debris in CMP Journal of JSPE2007

    • 著者名/発表者名
      K. Takano, K. Yamada, N. Takezawa, T. Suzuki, T. Inamura
    • 雑誌名

      Journal of JSPE 73.1

      ページ: 90-95

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Micro Mechanisms in Slip Deformation Theory of Crystals2006

    • 著者名/発表者名
      T. Inamura, N. Takezawa, K. Yamada, K. Shibuya
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 55.1

      ページ: 51-54

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 研磨屑粒子を含むCMPスラリーのSPH流動シミュレーション2006

    • 著者名/発表者名
      高野薫、山田耕一郎、武澤伸浩、鈴木辰俊、稲村豊四郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73・1

      ページ: 90-95

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] MDによる逆繰り込み変換MDの初期モデル生成2006

    • 著者名/発表者名
      山田雅俊、山田耕一郎、武澤伸浩、稲村豊四郎
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集A編 72・717

      ページ: 632-637

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
  • [雑誌論文] MD-Based Initial Model Generation for Inverse Renormalized MD Trans. JSME2006

    • 著者名/発表者名
      M. Yamada, K. Yamada, N. Takezawa, T. Inamura
    • 雑誌名

      Trans. JSME 72.717

      ページ: 632-637

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [学会発表] 解析解制御MDによる単結晶シリコン押し込み時のリングクラック生成メカニズム解析2007

    • 著者名/発表者名
      宍倉由記子、武澤伸浩、稲村豊四郎
    • 学会等名
      精密工学会
    • 発表場所
      旭川市ときわ市民ホール
    • 年月日
      2007-09-13
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [学会発表] Ring Crack Initiation on Monocrystalline Silicon Surface in Hertz Indentation Analyzed by using Analytical-Solution-Controlled Molecular Dynamics2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Shishikura, N. Takezawa, T. Inamura
    • 学会等名
      Annual Conference of the Japan Society of Precision Engineering
    • 発表場所
      Asahikawa Civic Conference Center
    • 年月日
      2007-09-13
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 2010-02-04  

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