| 研究概要 |
微細加工用の工具電極や半導体検査用コンタクトプローブとして利用できる,微細軸の瞬時大量成形を目的としたシステムの構築を目指している.直径0.1mm程度のタングステン電極を陰極として,単発放電を発生させると放電後の電極先端が微細化する現象についてこれまで研究を続けてきた.瞬時に微細軸が成形できる放電電気条件の選定はできているが,軸の成形精度が不十分であることが課題として残っていた.
そこで,本研究では単発放電後の微細軸に対して電解加工を連続して行い,軸の成形精度向上を目指している.本年度は,単発放電後に同一装置上で電解加工が可能な実験装置の試作を行い,各種電解条件での仕上げ面粗さ,加工速度など基礎データの取得を行った.電解液としては,水酸化ナトリウム(NaOH),水酸化カリウム(CaOH),硝酸ナトリウム(NaNO3)で比較を行った.その結果,電解液は水酸化ナトリウム,電源はパルス電源,電極回転数は300rpmの組み合わせが良好であることが分かった.
また,単発放電による微細軸瞬時成形はこれまで直径0.15mmのタングステン電極まで微細化することを確かめているが,チャック時の軸ふれ精度の向上のためには元の電極直径が太いほうが良い.そこで,直径0.2mm以上のタングステン電極を用いた単発放電による微細軸瞬時成形を試みた.電気条件(電流値,パルス幅)を変化させ実験を繰り返したところ,電流値150A,パルス幅800μsで先端が微細化する傾向が確認できた.電源回路の工夫を行い,電流値200A程度の単発放電による微細軸成形を試みる.
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