| 研究概要 |
微細加工用の工具電極や半導体検査用コンタクトプローブとして利用できる微細軸の瞬時大量成形を目的としたシステムの構築を目的に研究を続けてきた.直径0.1mm程度のタングステン電極を陰極として,単発放電を発生させると放電後の電極先端が微細化するがその繰り返しの成形精度は不十分である.そこで,単発放電で瞬時成形した微細軸を電解加工により形状を仕上げるシステムの構築を進めてきた.前年度まで,電解加工の成形条件の見極めと電解加工装置の試作を行った.本年度は,単発放電が可能であり,かつ同一機械上にて電解加工も可能な複合加工機の試作を行い,放電・電解ハイブリッド型連続成形が可能なように各種制御方式および加工条件等を検討した.放電加工時は放電加工油を使用し,電解加工時は電解液を用いるため,主軸装置は共通として加工槽を入れ替えることが出来る仕様とした.また,放電加工時の主軸制御,極間位置決めおよび電解加工時の主軸制御は全てPCソフト(LabVIEW8.0)を用いて制御しており,各種条件の最適性をフレキシブルに検討することができる.また,試作してシステムには機上で微細軸先端形状を計測することができるようデジタル顕微鏡を搭載した.単発放電後の微細軸形状を計測し,その形状に従って電解加工条件を決定し微細軸の仕上げを行った.一連のシステムが完成した後,成形した微細軸を用いて同一機械上で放電加工により薄板に対して微細穴加工を行い,当初目的とした微細軸の放電・電解ハイブリッド成形法の確立と同一機械上による微細加工を実現することが出来た.
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