異常値抑制効果と斜面対応機能を有す光触針式輪郭形状センサの開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18560120
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京都立産業技術高等専門学校
• 研究代表者: 深津 拡也 東京都立産業技術高等専門学校, ものづくり工学科, 教授 (80228866)
• 研究分担者: 柳 和久 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80108216)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: 非接触表面性状測定

研究概要

(1)照射スポット形状を円形から楕円形に変換した共焦点式光触針式センサの光学系を構築し、楕円照射スポットがスペックルノイズ低減-異常値の抑制に大きな効果を持つことを実証した。
(2)楕円形スポット-共焦点式光触針式センサの実用化を目指し、センサの小型化を行った(外形寸法は95mm×75mm×52mm)