ナノ周期積層膜を記録媒体とする超高密度トライボメモリーの基礎研究

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18560140
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 日本工業大学
• 研究代表者: 三宅 正二郎 日本工業大学, 工学部, 教授 (70229813)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: トライボロジー / データストレージ / ナノ材料 / 原子間力顕微鏡

研究概要

超高密度記録媒体として物性の異なった層を積層した(Si/C),(C/BN)等のナノ周期積層膜を形成した。ここで(Si/C),(C/BN)膜については1nm 膜厚のナノ周期積層膜を実現した。超高密度記録のためのナノ加工特性の検討として、導電性加工工具(チップ)を用い放電と機械作用を併用した新しい加工を実現した。さらに原子間力顕微鏡(AFM)でダイヤモンドチップを用いて、1 層(1nm)以下の機械加工を実現した。ナノ周期積層膜に加工された情報を再生する方法として、(1)形状差、(2)摩擦力の差、(3)電流分布の差を取り上げ、加工深さに対応する物性の差を評価した。

研究成果

• [雑誌論文] 紫外線照射処理及び熱処理した磁気ディスク潤滑膜の機械的特性の評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 黒坂渡, 三宅正二郎
  • 雑誌名: 表面技術 60, 2 ページ: 64-68
  • 査読あり
• [雑誌論文] 極薄ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜のマイクロトライボロジー特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 三宅正二郎, 松本安哲, 押元幸一, 黒坂渡
  • 雑誌名: トライボロジスト 53 ページ: 827-834
  • 査読あり
• [雑誌論文] Boundary lubrication characteristic of metal-containing diamond-like carbon (DLC) films with poly alpha olefin (PAO) lubricant (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Miyake, M. Komiya, W. Kurosaka, Y. Matsumoto, Y. Saito, Y. Yasuda, Y. Okamoto
  • 雑誌名: Tribology Online 3 ページ: 310-315
  • 査読あり
• [雑誌論文] Surface morphology and mechanical properties of nanoscale TiAlN/SiNx multilayer coating deposited by reactive magnetron sputtering (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Sakurai, T. Toihara, M. Wang, W. Kurosaka, S. Miyake
  • 雑誌名: Surf. Coat. Technol. 203 ページ: 171-179
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nanofabrication by mechanical and electrical processes using electrically conductive diamond tip (2008)
  • 著者名/発表者名: S. Miyake, H. Zheng, J. Kim, and M. Wang
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol B, 26,5 ページ: 1660-1665
  • 査読あり
• [雑誌論文] ナノ周期積層固体潤滑膜 (2008)
  • 著者名/発表者名: 三宅正二郎,黒坂渡
  • 雑誌名: トライボロジスト 53, 11 ページ: 23-28
• [雑誌論文] Deposition and tribology of carbon and boron nitride nanoperiod multilayer solid lubricating films (2007)
  • 著者名/発表者名: S. Miyake, H. Hashizume, W. Kurosaka, M. Sakurai, M. Wang
  • 雑誌名: Surf. and Coat. Technol. 202 ページ: 4-7
  • 査読あり
• [雑誌論文] DLC 膜・ダイヤモンド膜の製作技術と適用動向 (2007)
  • 著者名/発表者名: 三宅正二郎
  • 雑誌名: トライボロジスト 52,1 ページ: 34-39
• [雑誌論文] トライボロジー作用を活用したナノメータスケールの加工とその応用展開 (2007)
  • 著者名/発表者名: 三宅正二郎
  • 雑誌名: 真空 50, 2 ページ: 89-95
• [雑誌論文] 表面のナノ力学特性評価 (2007)
  • 著者名/発表者名: 三宅正二郎
  • 雑誌名: 精密工学会誌 73, 8 ページ: 859-863
• [雑誌論文] ナノメータスケールの機械加工とそのAFM メモリーへの応用 (2007)
  • 著者名/発表者名: 三宅正二郎, 黒坂渡
  • 雑誌名: 日本工業大学研究報告 37, 2 ページ: 497-500
• [学会発表] 極薄膜ダイヤモンドライクーボン膜の原子間力顕微鏡により評価したナノ摩耗特性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 金沢年郎,押本幸一,三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集2009-5
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2009-05-19
• [学会発表] 各種潤滑油形成磁気ディスクのトライボロジー特性の温度依存性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 黒坂渡,押元幸一,三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集2009-5
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2009-05-19
• [学会発表] 金属添加水素フリーダイヤモンドライクーボン膜とダイヤモンド膜の境界潤滑特性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 斎藤雄太,黒坂渡,松本安哲,三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集2009-5
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2009-05-18
• [学会発表] 極薄膜ダイヤモンドライクーボン膜の荷重増減摩擦試験による評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 川崎信太郎,松本安哲,黒坂渡,三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集2009-5
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2009-05-18
• [学会発表] Nanometer scale mechanical property evaluation of various cured lubricant and DLC film coated magnetic disk by force modulation atomic force microscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: W. Kurosaka, S. Miyake
  • 学会等名: Proc. of 35th Inter. conf. on coat.(pp.93)
  • 発表場所: San Diego, USA.
  • 年月日: 2009-04-30
• [学会発表] Nanometer-scale mechanical properties of extremely thin diamond-like carbon films (2009)
  • 著者名/発表者名: S. Miyake, W. Kurosaka, K. Oshimoto
  • 学会等名: 3rd Vienna International Conference nano-technology viennano 09(pp.381-386)
  • 発表場所: Vienna, Austria
  • 年月日: 2009-03-20
• [学会発表] Tribology of gold and fluorinate carbon nanometer period multilayer films (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Leming, K. Mituyoshi, W. Kurosaka, S. Miyake
  • 学会等名: Proceeding of JAST Tribology Conference Nagoya 2008-9(pp.61-62)
  • 発表場所: Nagoya
  • 年月日: 2008-09-18
• [学会発表] コバルト,セリウム等を添加したダイヤモンドライクカーボン膜の境界潤滑特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 斉藤雄太, 黒坂渡, 松本安哲, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-9(pp.63-64)
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 2008-09-18
• [学会発表] ナノ膜厚DLC 膜のナノ摩耗および微小荷重摩擦特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松本安哲, 押元幸一, 黒坂渡, 三宅正二郎, 金鍾得
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-9(pp.425-426)
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 2008-09-17
• [学会発表] 各種潤滑油を形成した磁気ディスクの摩擦耐久性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 押元幸一, 黒坂渡, 金沢年郎, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-9(pp.427-428)
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 2008-09-17
• [学会発表] 各潤滑油形成磁気ディスク摩擦摩耗特性の温度依存性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 黒坂渡, 川崎信太郎, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-9(pp.429-430)
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 2008-09-17
• [学会発表] 極薄膜DLC のトライボロジー特性の膜厚依存性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松本安哲, 黒坂渡, 押元幸一, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-5(pp.103-104)
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-05-15
• [学会発表] 金属添加水素フリーDLC 膜の境界潤滑特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 三宅正二郎, 小宮光貴, 黒坂渡, 斉藤雄太, 安田芳輝, 岡本祐介
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-5(pp.239-240)
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-05-15
• [学会発表] 各種キュア処理を行った磁気ディスク摩擦面の評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 黒坂渡, 押元幸一, 湯楽明, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-5(pp.105-106)
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-05-15
• [学会発表] 極薄膜DLC のスクラッチ特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 押元幸一, 黒坂渡, 松本安哲, 三宅正二郎, 金鍾得
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-5(pp.101-102)
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-05-15
• [学会発表] TiAlN/SiN 積層膜のトライボロジー特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 黒坂渡, 松本安哲, 三宅正二郎, 桜井正俊, 戸井原孝臣, W. Mei
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2008-5(pp.223-224)
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-05-14
• [学会発表] DLC 極薄膜のナノ摩耗特性 (2007)
  • 著者名/発表者名: 押元幸一, 黒坂渡, 金鍾得, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2007-9(pp.461-462)
  • 発表場所: 佐賀
  • 年月日: 2007-09-28
• [学会発表] DLC 極薄膜の直進往復摩擦摩耗特性 (2007)
  • 著者名/発表者名: 松本安哲, 小宮光貴, 黒坂渡, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2007-9(pp.463-464)
  • 発表場所: 佐賀
  • 年月日: 2007-09-28
• [学会発表] 軟質金属系ナノ周期積層膜の形成とトライボロジー特性 (2007)
  • 著者名/発表者名: 小宮光貴, 鈴木学, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2007-9(pp.475-476)
  • 発表場所: 佐賀
  • 年月日: 2007-09-28
• [学会発表] スパッタリングで形成したTiAIN/SiN 膜の表面形態とトライボロジー (2007)
  • 著者名/発表者名: 黒坂渡, 三宅正二郎, 桜井正俊, 戸井原孝臣, W. Mei
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2007-9(pp.477-478)
  • 発表場所: 佐賀
  • 年月日: 2007-09-28
• [学会発表] 直進往復摩擦摩耗試験による磁気ディスク表面の損傷評価 (2007)
  • 著者名/発表者名: 黒坂渡, 三宅正二郎
  • 学会等名: トライボロジー会議予稿集 2007-9(pp.479-480)
  • 発表場所: 佐賀
  • 年月日: 2007-09-28