高精度温度制御技術の研究

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18560199
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 熱工学
• 研究機関: 神戸大学
• 研究代表者: 平澤 茂樹 神戸大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70403300)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: 温熱制御

研究概要

電子線描画装置の高精度温度制御をモデルにして, 外乱温度変動の1%以下(外乱温度変動0.1℃の環境にて対象物の温度変動を0.001℃以下)にするための制御方法を数値解析と実験で検討した。解析的な検討により, ステップ応答モデルを使ったモデル予測制御法により外乱温度変動の0.1%にできることを示した。また, ふく射加熱による温度上昇速度の制御も検討した。検討結果をまとめて, 制御対象に応じた最適制御条件や, 制御の限界を明らかにした。

研究成果

• [雑誌論文] ランプ急速熱処理装置における昇温速度の高精度制御方法の検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 平澤茂樹, 戸田禎孝
  • 雑誌名: 日本機械学会論文集, B編 74巻 ページ: 767-773
  • 査読あり
• [学会発表] 発熱変動ある平板の温度変化を最小にする熱制御技術の検討モデル予測制御法 (2009)
  • 著者名/発表者名: 平澤茂樹, 伊藤心也
  • 学会等名: 第46回日本伝熱シンポジウム
  • 発表場所: 京都市
  • 年月日: 2009-06-02
• [学会発表] Optimum Heating Control Method to Keep a Given TemperatureRising Speed of a Plate during Rapid Thermal Processing2008ASME (2008)
  • 著者名/発表者名: Hirasawa, S.,Toda, S.
  • 学会等名: International Mechanical Engineering Congress
  • 発表場所: アメリカ, ボストン市
  • 年月日: 2008-11-03
• [学会発表] ランプ熱処理装置における昇温速度の高精度制御方法の検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 平澤茂樹, 戸田禎孝
  • 学会等名: 第45回日本伝熱シンポジウム
  • 発表場所: つくば市
  • 年月日: 2008-05-21
• [学会発表] S., Analytical Study of Thermal Control Method to Minimize Temperature Change of a Plate with Changing Heat Generation (2007)
  • 著者名/発表者名: Hirasawa, S., Ito, S.
  • 学会等名: 2007 ASME-JSME Thermal Engineering Summer Heat Transfer Conferenc
  • 発表場所: カナダ, バンクーバー市
  • 年月日: 2007-07-11
• [学会発表] 発熱変動ある平板の温度変化を最小にする熱制御技術の検討 (2007)
  • 著者名/発表者名: 平澤茂樹, 伊藤心也
  • 学会等名: 第44回日本伝熱シンポジウム
  • 発表場所: 長崎市
  • 年月日: 2007-05-24
• [学会発表] 発熱変動ある平板の温度変化を最小にする熱制御技術の解析的検討 (2006)
  • 著者名/発表者名: 平澤茂樹, 伊藤心也, 福嶋芳雅
  • 学会等名: 第43回日本伝熱シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋市
  • 年月日: 2006-05-31