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2006 年度 実績報告書

新しいシリサイド半導体の結晶成長とエネルギーデバイスへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 18560303
研究種目

基盤研究(C)

研究機関静岡大学

研究代表者

立岡 浩一  静岡大学, 工学部, 教授 (40197380)

キーワードシリサイド / 熱電発電素子 / 熱光起電力発電システム / エピタキシー / 溶融塩法 / 相互拡散 / エネルギー / 環境
研究概要

多様なシリサイド半導体結晶の成長を行い、構造的、電気的性質を評価するとともに温度差発電素子を試作した。
Mg_2Si/Si基板上に成長させたSr_2Si薄膜の構造を明らかにした。また単相成長させたCa_5Si_3,Sr_5Si_3粉末結晶の伝導現象を評価した。これらの結晶はp形である事が分かった。またSr_5Si_3結晶は擬ギャップ材料であるという計算結果も得られ熱電材料への応用も考えられる。
バルクSi及びSiGe混晶をMg雰囲気中で熱処理する事により得られたMg_2Si_<1-x>Ge_x膜の構造を明らかにした。またバルクSi及びSiGe粉末をMg雰囲気中で熱処理する事によりMg_2Si_<1-x>Ge_x粉末を作製した、さらにMg_2Si粉末及びMg_2Ge粉末よりプラズマ焼結によりMg_2Si_<1-x>Ge_xバルク結晶を作製し、構造及び熱電特性を明らかにした。
Mg_2Si粉末をCa雰囲気中で熱処理する事によりCa_2Si粉末を生成した。これらの焼結体をつくる事により熱電素子を作製した。また、溶融塩法により得られたb-FeSi_2を用いてb-FeSi_2/Mg_2Si熱電発電素子及びb-FeSi_2/FeSi熱電発電素子の構造を改良し中温領域において使用可能な素子を試作した。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2006 その他

すべて 雑誌論文 (8件)

  • [雑誌論文] Growth of Mg2Si1-xGex Layers on Silicon-Germanium Substrates2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Mizuyoshi, H.Tatsuoka 他
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 508

      ページ: 70-73

  • [雑誌論文] Growth Evolution of Sr-Silicide Layers on Si(111) and Mg2Si/Si(111) Substrates2006

    • 著者名/発表者名
      K.Miura, H.Tatsuoka 他
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 508

      ページ: 74-77

  • [雑誌論文] Growth of SiOx Nanofibers Using FeSi Substrates with Ga Droplets2006

    • 著者名/発表者名
      T.INABA, H.TATSUOKA 他
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45・49

      ページ: L1320-L1321

  • [雑誌論文] Resistive contrast in R-EBIC from thin films2006

    • 著者名/発表者名
      K.Durose, H.Tatsuoka
    • 雑誌名

      Microscopy of Semiconducting Materials 107

      ページ: 515-518

  • [雑誌論文] Growth of SiOx Nanofibers using FeSi and b-FeSi2 Substrates with Ga Droplets

    • 著者名/発表者名
      T.Inaba, Y.Saito, H.Tatsuoka 他
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (印刷中)

  • [雑誌論文] Structural Property of b-FeSi2 Layers Deposited on FeSi from a Molten Salt

    • 著者名/発表者名
      T.Ohishi, H.Tatsuoka 他
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (印刷中)

  • [雑誌論文] Preparation and Electrical Properties of Ca5Si3 and Sr5Si3 Powders

    • 著者名/発表者名
      T.Inaba, H.Tatsuoka 他
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (印刷中)

  • [雑誌論文] Preparation of b-FeSi2 Substrates by Molten Salt Method

    • 著者名/発表者名
      M.Okubo, T.Ohishi, H.Tatsuoka 他
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (印刷中)

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公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

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