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2008 年度 実績報告書

プラズマチャンバー内における異常放電発生のリアルタイムモニタリング技術の研究

研究課題

研究課題/領域番号 18560407
研究機関茨城大学

研究代表者

尾保手 茂樹  茨城大学, 工学部, 准教授 (50323209)

研究分担者 鹿子嶋 憲一  茨城大学, 工学部, 教授 (70292472)
池畑 隆  茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641)
佐藤 直幸  茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
キーワードプラズマチャンバー / 異常放電 / 位置推定
研究概要

半導体製造工程のひとつにプラズマチンバ内でのエッチング工程がありにおいてプラズマ化されたエッチングガスによるマイクロアークと呼ばれる異常放電が問題となっている. 異常放電の発生箇所を推定することができれば適切なメンテナンス箇所や時期の決定につながるため有用である. 本研究では実験的にチャシバ内での異常放電の発生箇所を推定することを目指した.
到来方向を推定する技術の1つとして, MUSIC (Multiple SIgnal Classification) 法が挙げられる. MUSIC法とは, アレーアンテナの受信信号から相関行列を求め, その固有値, 固有ベクトルを用いた方法で, 高精度・高分解能に到来の方向を推定する手法である. しかしマルチパス伝搬に起因して到来波がコヒーレントの場合, 複数の到来波を分離できないという欠点がある. 本研究では実際にチャンバを作歳しチャンバ内での到来方向推定制度の評価を行った.
マルチパス環境下での到来方向推定制度の評価を行った. 13点のうち左側2点を除いて比較的良好な結果が得られ, その平均誤差は14[°]であった.

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2008 その他

すべて 学会発表 (1件) 備考 (1件)

  • [学会発表] プラズマチャンバ内における異常放電発生箇所推定に関する検討2008

    • 著者名/発表者名
      秋山圭, 尾保手茂樹, 鹿子嶋憲一
    • 学会等名
      平成20年度電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • 発表場所
      日立市
    • 年月日
      2008-12-05
  • [備考]

    • URL

      http://info.ibaraki.ac.jp/scripts/websearch/index.htm

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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