| 研究概要 |
半導体製造工程のひとつに金属の円筒であるプラズマチャンバ内でのエッチング工程があり, その工程において異常放電が問題となっている. 異常放電の発生箇所を推定することができれば適切なメンテナンス箇所や時期の決定につながるため有効である. 本研究では, アレーアンテナを用いた到来方向推定技術を用いた放電箇所推定の可能性について検討している. 直径650mmの金属製のチャンバーにおいて, 4素子半波長等間隔リニアアレーアンテナを用いた到来方向推定実験を行った結果, 到来方向推定に基づく位置推定の実現が可能である見通しを得た.
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