2008 年度研究成果報告書

プラズマチャンバー内における異常放電発生のリアルタイムモニタリング技術の研究

研究課題

研究課題/領域番号	18560407
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	計測工学
研究機関	茨城大学
研究代表者	尾保手茂樹茨城大学, 工学部, 准教授 (50323209)
研究分担者	鹿子嶋憲一茨城大学, 工学部, 教授 (70292472)
連携研究者	池畑隆茨城大学, 理工学研究科, 教授 (00159641) 佐藤直幸茨城大学, 理工学研究科, 准教授 (80225979)
研究期間 (年度)	2006 – 2008
キーワード	計測システム
研究概要	半導体製造工程のひとつに金属の円筒であるプラズマチャンバ内でのエッチング工程があり, その工程において異常放電が問題となっている. 異常放電の発生箇所を推定することができれば適切なメンテナンス箇所や時期の決定につながるため有効である. 本研究では, アレーアンテナを用いた到来方向推定技術を用いた放電箇所推定の可能性について検討している. 直径650mmの金属製のチャンバーにおいて, 4素子半波長等間隔リニアアレーアンテナを用いた到来方向推定実験を行った結果, 到来方向推定に基づく位置推定の実現が可能である見通しを得た.