2008 年度研究成果報告書

波長多重走査型半導体レーザ光源によるインプロセス形状計測システムの実現

研究課題

研究課題/領域番号	18560409
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	計測工学
研究機関	新潟大学
研究代表者	鈴木孝昌新潟大学, 自然科学系, 教授 (40206496)
研究分担者	佐々木修己新潟大学, 自然科学系, 教授 (90018911) 大平泰生新潟大学, 自然科学系, 准教授 (10361891)
研究期間 (年度)	2006 – 2008
キーワード	半導体レーザ / 干渉計 / 波長走査 / 光外部共振器 / インプロセス計測
研究概要	機械的駆動要素を必要としない静的波長走査光源を提案・構築し, AOD による波長走査が可能であることを実証した。波長走査幅は, 約1(nm), 周波数応答は約300(Hz)であった。また, 高速度CCDカメラを用い, インプロセスでの鮮明な干渉縞画像検出ができることを確認した。これにより, 外乱にロバストな干渉計測システムの実現が可能であることを示した。