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2008 年度 実績報告書

アモルファス・ナノ2相変調構造を有する無電解析出コバルト系合金膜の創製と応用

研究課題

研究課題/領域番号 18560699
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

松田 均  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60118015)

研究分担者 八重 真治  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00239716)
福室 直樹  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10347528)
キーワード無電解めっき / アモルファス / ナノ結晶 / 傾斜構造膜 / 磁気履歴曲線 / 保磁力 / 変調構造
研究概要

めっき膜は、金属学的には非平衡状態にあると考えられ、アモルファス相、アモルファス-結晶質から構成されるナノレベルの変調構造など、バルク金属では見られない興味ある構造を示すことを既に明らかにした。これらの成因について、これまで、金属元素以外では、PやBなどのメタロイドの影響が議論してきた。しかし、未解明な点が多い。今年度は、これまであまり注目されることのなかった膜中の微量元素、特に炭素や水素が膜構造に与える影響について検討することを主題とした。
まず、微量元素の影響を調べるため、高純度のめっき膜を得る必要がある。そこで一般的には複雑であるめっき浴組成を単純化し、金属塩、還元剤とpH調整剤のみとして、 Co-P系めっき浴を新しく開発した。このめっき浴から得られた膜についてリン含有量を変化させたり、金属塩を添加するなどしてめっき膜の変化を観察した。次に開発しためっき浴にギ酸を添加した際、構造に大きな変化が見られたことから、炭素に注目し、研究を進めた。ここではより純粋な系で考えるために電析コバルトにギ酸を添加していくことで、炭素がめっき膜に与える影響について検討した。一方、 DMABを還元剤とするめっき浴から未知の相を含むめっき膜が得られ、同相を準安定相であるcubicε-Coであると同定した。このε-Coは水素と関連性が強いと予想されたことから、無電解および電析めっき膜中の水素の分析を行い、めっき膜が多量の水素を含み、また、水素が構造に影響を与えていることを明らかにした。

  • 研究成果

    (19件)

すべて 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (14件) 図書 (1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Metal nanorod production in silicon matrix by electroless. process2009

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 255

      ページ: 4670-4672

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 滑アルミナ基板と無電解純Niめっき膜の密着性と内部応力との関係2009

    • 著者名/発表者名
      伊藤 潔
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 12

      ページ: 130-136

    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrof luoric Acid Etching of Silicon2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yae
    • 雑誌名

      ECS Transactions 16(3)

      ページ: 285-289

    • 査読あり
  • [学会発表] パラジウムを触媒とするシリコンのHFエッチングによるパターン形成2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      電気化学会第7 6回大会
    • 発表場所
      京都市・京都大学
    • 年月日
      2009-03-29
  • [学会発表] シリコン上への貴金属微粒子電析に及ぼす置換反応の影響2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      電気化学会第7 6回大会
    • 発表場所
      京都市・京都大学
    • 年月日
      2009-03-29
  • [学会発表] 電解Niめっき膜中の水素の挙動2009

    • 著者名/発表者名
      田中裕三
    • 学会等名
      電気化学会第76回大会
    • 発表場所
      京都市・京都大学
    • 年月日
      2009-03-29
  • [学会発表] Microstructural Investigation of Modulated structure in Electrolessly Deposited Co-P Films2008

    • 著者名/発表者名
      N. Fukumuro
    • 学会等名
      IUMRS-ICA2008
    • 発表場所
      名古屋市・名古屋国際会議場
    • 年月日
      2008-12-09
  • [学会発表] 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      丸尾寿明
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学
    • 年月日
      2008-12-02
  • [学会発表] 電解法により作製したCoめっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • 著者名/発表者名
      中山 彰
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学
    • 年月日
      2008-12-02
  • [学会発表] 電解Niめっきにおける水素の挙動2008

    • 著者名/発表者名
      田中裕三
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学
    • 年月日
      2008-12-02
  • [学会発表] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrofluoric Acid Etching of Silicon2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yae
    • 学会等名
      日米電気化学合同大会
    • 発表場所
      アメリカ合衆国ハワイ州ホノルル市
    • 年月日
      2008-10-14
  • [学会発表] Electroless Process for Producing Metal Filled Si Nanopores2008

    • 著者名/発表者名
      T. Hirano
    • 学会等名
      日米電気化学合同大会
    • 発表場所
      アメリカ合衆国ハワイ州 ホノルル市
    • 年月日
      2008-10-13
  • [学会発表] Co-Pめっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      小佐々 寛
    • 学会等名
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • 発表場所
      熊本市・熊本大学
    • 年月日
      2008-09-23
  • [学会発表] 電解Fe系めっき膜の構造と水素の存在状態の検討2008

    • 著者名/発表者名
      丸尾寿明
    • 学会等名
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • 発表場所
      熊本市・熊本大学
    • 年月日
      2008-09-23
  • [学会発表] 電解法により作製したCoめっき膜の微細構造に及ぼす水素の影響2008

    • 著者名/発表者名
      中山 彰
    • 学会等名
      社団法人日本金属学会2008年秋期(第143回)講演大会
    • 発表場所
      熊本市・熊本大学
    • 年月日
      2008-09-23
  • [学会発表] TVホログラフィー干渉法によるめっき初期析出過程の内部応力のその場測定2008

    • 著者名/発表者名
      福室直樹
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会第118回講演大会
    • 発表場所
      東大阪市・近畿大学
    • 年月日
      2008-09-02
  • [学会発表] 無電解プロセスによるシリコン微細孔の作製と金属充填2008

    • 著者名/発表者名
      平野達也
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会第118回講演大会
    • 発表場所
      東大阪市・近畿大学
    • 年月日
      2008-09-01
  • [図書] Progress in Nanoparticles Research2008

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 総ページ数
      117-135
    • 出版者
      Nova Science Publishers
  • [備考]

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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