電子線誘起蒸着による金属間化合物ナノドットの作製

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18560701
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 埼玉工業大学
• 研究代表者: 下条 雅幸 埼玉工業大学, 先端科学研究所, 准教授 (00242313)
• 連携研究者: 竹口 雅樹 物質材料研究機構, ナノ計測センター, 主幹研究員 (30354327)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: 金属材料 / ナノ材料 / 電子顕微鏡

研究概要

目的の場所ヘサイズや形状を制御して、ナノ構造を作製できる方法として電子線誘起蒸着法(EBID)がある。本研究では、FeとPtを含む原料を用いてEBIDを行い、FePt金属間化合物ナノ構造を作製することに成功した。また、このとき作製されたナノ構造物の純度が問題だったため、原料に水蒸気を混合する方法や無機系原料を用いたEBID法を開発し、比較的純度の高いナノ構造を作製できた。

研究成果

• [雑誌論文] Post-deposition proces ses for nanostructures formed by electron beam induced deposition with Pt(PFs)4 precursor (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi, M. Shimoio and K. Furuya
  • 雑誌名: Appl. Phys. A 93 ページ: 439-442
• [雑誌論文] Formation of nanoscale platinum and iron oxide structures using electron beam induced deposition techniques (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
  • 雑誌名: J. Phys. Conf. Ser. 100 ページ: 052016
• [雑誌論文] Effect of dynamic precursor gas pressure on growth behavior of amorphous Si-C-O nanorods by electron beam-induced deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: W. Zhang, M. Shimoio and K. Furuya
  • 雑誌名: J. Mater. Sci. 43, 6 ページ: 2069-2071
• [雑誌論文] 電子線誘起蒸着法研究 (2008)
  • 著者名/発表者名: 下条雅幸、竹口雅樹、三石和貴、田中美代子、古屋一夫
  • 雑誌名: 機械の研究 60, 9 ページ: 937-942
• [雑誌論文] Mechanisms of crystalline iron oxide formation in electron beam induced deposition (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 46, 9B ページ: 6247-6249
• [雑誌論文] Nanostructure fabrication by electron beam induced deposition with metal carbonyl precursor and water vapor (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi, M. Shimoio and K. Furuya
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 46, 9B ページ: 6183-6186
• [雑誌論文] Electron beam induced deposition of Fe nanoparticles and thin films on SrTiO3 substrates (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Tanaka, K. Mitsuishi, M. Takeguchi. M. Shimoio. K. Furuya and N. Koguchi
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 46, 9B ページ: 6243-6246
• [雑誌論文] Fabrication of iron oxide nanostructures by electron beam induced deposition (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio. M. Takeguchi. K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
  • 雑誌名: Mater. Sci. Forum 561-565 ページ: 1101-1104
• [雑誌論文] Field electron emission from single carbon nanorod fabricated by electron beam induced deposition (2007)
  • 著者名/発表者名: R. Che, M. Takeguchi. M. Shimoio and K. Furuya
  • 雑誌名: J. Phys. Conf. Ser. 61 ページ: 200-204
• [雑誌論文] Formation of Fe-Pt intermetallic phase in nanostructures by electron beam induced deposition and postdeposition alloying processes (2006)
  • 著者名/発表者名: W. Zhang, R. Che, M. Takeguchi. M, Shimoio and K. Furuya
  • 雑誌名: Surf. Interface Anal. 38 ページ: 1527-1529
• [雑誌論文] Effects of heat treatment on electric properties of nanorods formed by electron beam-induced deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio. M. Takeguchi. R. C. Che, W. Zhang, M. Tanaka, K. Mitsuishi and K. Furuya
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6B ページ: 5509-5512
• [雑誌論文] Formation of crystalline iron oxide nanostructures by electron beam induced deposition at room temperature (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio. M. Takeguchi and K. Furuya
  • 雑誌名: Nanotechnology 17 ページ: 3637-3640
• [雑誌論文] Fabrication ofnano-magnet on a piezo-driven tip in a TEM sample holder (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi. M. Shimoio. R. Che and K. Furuya
  • 雑誌名: J. Mater. Sci. 41 ページ: 2627-2630
• [雑誌論文] 電子線誘起蒸着(EBID)による磁性ナノ構造創製 (2006)
  • 著者名/発表者名: 竹口雅樹、下条雅幸、古屋一夫
  • 雑誌名: 顕微鏡 41, 2 ページ: 127-130
• [学会発表] Fabrication of iron oxide nanostructures by electron beam-induced deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
  • 学会等名: The sixth pacific rim international conference on advanced materials and processing (PRICM-6)
  • 発表場所: Jeju, Korea
  • 年月日: 20081106-08
• [学会発表] Characterization of nanowires produced by electron beam induced deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio, M. Song, H. Matsumoto, K. Makise, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka and K. Furuya
  • 学会等名: 9th Asia-Pacific Microscopy Conference (APMC9)
  • 発表場所: Jeju, Korea
  • 年月日: 20081102-07
• [学会発表] Electron beam nanofabrication and characterization of iron compounds (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Furuya, M. Shimoio, M. Takeguchi, M. Song, K. Mitsuishi and M. Tanaka
  • 学会等名: 14th European Microscopy Congress (EMC 2008)
  • 発表場所: Aachen, Germany
  • 年月日: 20080901-05
• [学会発表] Nanofabrication and characterization of iron compounds with focused electron beam (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Furuya, M. Shimoio, M. Takeguchi, M. Song, K. Mitsuishi and M. Tanaka
  • 学会等名: 1st International Symposium on Advanced Microscopy and Theoretical Calculations (AMTC1)
  • 発表場所: Nagoya, Japan
  • 年月日: 20080629-30
• [学会発表] In-situ electron beam induced deposition for the fabrication of noble nanostructures (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Furuya, M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Song
  • 学会等名: Micro Science 2008
  • 発表場所: London, UK
  • 年月日: 20080623-25
• [学会発表] Formation of nanoscale iron and iron oxide structures using electron beam induced deposition techniques (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio, M. Takeguchi, K. Mitsuishi, M. Tanaka, K. Furuya
  • 学会等名: International Conference on Nano Science and Technology (ICN+T 2007)
  • 発表場所: Stockholm, Sweden
  • 年月日: 20070702-06
• [学会発表] Effects of water addition to iron carbonyl on the formation of iron oxide nanostructures in electron beam-induced deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio, R. C. Che, M. Takeguchi, M. Tanaka, K. Mitsuishi and K. Furuya
  • 学会等名: 19th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2006), Digest of Papers, p. 184-185.
  • 発表場所: Kamakura, Japan
  • 年月日: 20061025-27
• [学会発表] Nanostructures fabrication by electron beam induced deposition with Fe(CO)5 and H2O followed by thermal treatment (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi. R. Che, M. Shimoio and K. Furuya
  • 学会等名: 19th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2006)
  • 発表場所: Kamakura, Japan
  • 年月日: 20061025-27
• [学会発表] Electron beam induced deposition of Fe on STO (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Tanaka, K. Mitsuishi, M. Takeguchi. M. Shimoio. K. Furuya and N. Koguch
  • 学会等名: 19th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2006)
  • 発表場所: Kamakura, Japan
  • 年月日: 20061025-27
• [学会発表] Direct formation of oxide nanorods using electron beam-induced deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio. M. Takeguchi. W. Lu and K. Furuya
  • 学会等名: 16th International Microscopy Congress (IMC16), p. 1837
  • 発表場所: Sapporo, Japan
  • 年月日: 20060903-08
• [学会発表] Electron holography characterization of nanostructures with different iron concentration formed by electron beam induced deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi. M. Shimoio. R. C. Che and K. Furuya
  • 学会等名: 16th International Microscopy Congress (IMC16)
  • 発表場所: Sapporo, Japan
  • 年月日: 20060903-08
• [学会発表] Fabrication and observation of metal nancrstructures using an ultra-high vacuum transmission electron microscopy (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Tanaka, M. Shimoio. M. Takeguchi. K. Mitsuishi and K. Furuya
  • 学会等名: 16th International Microscopy Congress (IMC16)
  • 発表場所: Sapporo, Japan
  • 年月日: 20060903-08
• [学会発表] Electron holography investigation on FePt alloy nanorod fabricated by electron beam induced deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: R. C. Che, M. Takeguchi, M. Shimoio, W. Zhang and K. Furuya
  • 学会等名: 16th International Microscopy Congress (IMC16)
  • 発表場所: Sapporo, Japan
  • 年月日: 20060903-08
• [学会発表] Field electron emission from nanorods formed by electron beam induced deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: R. C. Che, M. Takeguchi, M. Shimoio, W. Zhang and K. Furuya
  • 学会等名: 16th International Microscopy Congress (IMC16)
  • 発表場所: Sapporo, Japan
  • 年月日: 20060903-08
• [学会発表] Field emission from single nanorod fabricated by electron beam-induced deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: R. C. Che, M. Takeguchi. M. Shimoio and K. Furuya
  • 学会等名: International Conference on Nanoscience and Technology 2006 (ICN+T 2006)
  • 発表場所: Basel, Switerland
  • 年月日: 20060730-0804
• [学会発表] Formation of iron oxide nanorods using electron beam-induced deposition (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Shimoio. M. Takeguchi. W. Lu and K. Furuya
  • 学会等名: Microscopy and Microanalysis 2006 (M&M2006), Vol. 12, Supp. 2, 700-701
  • 発表場所: Chicago, Illinois, USA
  • 年月日: 20060730-0803
• [学会発表] Fabrication and characterization of magnetic nanostructures with different iron concentration (2006)
  • 著者名/発表者名: M. Takeguchi. M. Shimoio. R. Che and K. Furuya
  • 学会等名: Microscopy and Microanalysis 2006 (M&M2006), Vol. 12, Supp. 2, 980-981
  • 発表場所: Chicago, Illinois, USA
  • 年月日: 20060730-0803
• [図書] In-situ ion and electron beam effects on the fabrication and analysis of nanomaterials ; In-situ electron microscopy at high resolution (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Furuya, M. Song, M. Shimoio (分担)
  • 総ページ数: Chapter 7, 229-258
  • 出版者: World Scienctific Publishing, Singapore
• [産業財産権] 触媒作用を有する塩化物と収束電子線を用いる微細構造物の製造方法とその装置 (2008)
  • 発明者名: 下条雅幸、古屋一夫
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権番号: 第4117380号
  • 取得年月日: 2008-03-18