| 研究課題/領域番号 |
18650118
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
松永 忠雄 東北大学, 先進医工学研究機構, 助手 (00396540)
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| 研究分担者 |
芳賀 洋一 東北大学, 先進医工学研究機構, 助教授 (00282096)
牧志 渉 東北大学, 先進医工学研究機構, 助手 (60400454)
江刺 正喜 東北大学, 大学院工学研究科, 教授 (20108468)
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| キーワード | 円筒面MEMSプロセス / フォトリソグラフィー / コーティング |
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| 研究概要 |
本研究の目的は、マスクレス露光を用いたフォトリソグラフィーをはじめとする半導体微細加工技術および微小機械要素を取り入れたMEMS技術を、細径の円筒面に適応することにより、高機能医療ツールを実現することである。本年度は直径3〜5mm程度の円筒形状サンプル表面にフォトリソグラフィーを行うための要素開発、および非平面サンプル上への集積回路実装を計画通り行った。
・レジストコーティング:円筒面への高分解能フォトリソグラフィーを実現するためには、レジスト層を円筒面上に均一に成膜する必要があり、スプレーコーティング法により均一なレジスト塗布を実現した。
・パターニングおよび露光装置開発:紫外光を50μm以下に集光させたスポット光を、レジストが塗布された円筒形状サンプル表面に照射する点照射露光装置を立ち上げた。自作プログラムにより駆動される精密ステージを露光装置に組み込むことで、複雑な形のコイルや電極パターンを作製した。現在は光学系を再設計することで、スポット径の細径化を進めている。
・非平面集積回路実装技術の確立:レーザー局所加熱によるはんだ装置を用いることで、円筒形状表面に実装用増幅回路やチップ抵抗を実装した。
本年度は主に要素開発を進めた。実施、および実現された研究内容は、ほぼ計画通りであり、来年度は円筒形状の医療デバイスの開発に着手する。
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