| 研究概要 |
今年度は,超高圧希ガス容器の作製ならびに希ガスプラズマ光源を用いる真空紫外連続光源の開発,整備を行い,超高圧希ガスの真空紫外域での吸収スペクトルの測定を行った.
100気圧を超える希ガス充填容器は種々の安全基準をクリアする必要があるが,これらの基準をクリアし,かつ200気圧まで充填可能な希ガス容器を作製した.種々の安全装置を含んでいることが特徴である.一方,希ガス(Ar,Kr)中でのレーザーブレークダウンを用いるプラズマ発光の分光を行い,その出力の最適化を行った.その結果,ピーク出力が数kWクラスの真空紫外域(波長120nm〜200nm)の光源開発に成功し,この光源の整備を行った.アルゴンを用いた場合にはこの波長域で吸収の無い連続発光スペクトルが得られた.これに対してクリプトンの場合には共鳴吸収が127nmから開始し,これよりも短い波長域では発光が見られなかった.アルゴンよりも軽い希ガスでは,線スペクトルが支配的となり,かつ発光強度も低下することから,連続波長可変分光光源としては適していないと結論づけた.
この真空紫外連続プラズマ発光光源を用いて10気圧程度までの高圧クリプトンの吸収分光を行った.クリプトンの吸収端のシフトを予測したものの,1気圧の吸収スペクトルと比較して大きな違いは見られなかった.共鳴吸収の値から見積もられる吸収断面積は既知の値とオーダーで一致したことから吸収分光の妥当性は確認された.今後は超高圧での吸収分光を試みることにより,レーザー発振に必要なエキシマ数密度を得ることができるかどうか定量的に検討する.
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