ナノスケールで構造制御した多元素複合クラスタービーム形成技術の研究

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18681014
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: ナノ構造科学
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 瀬木 利夫 京都大学, 工学研究科, 講師 (00402975)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: クラスター / 微粒子 / 量子ビーム科学

研究概要

ナノ構造を持つ多元素複合クラスターの生成方法を開発し、それを用いたナノ構造材料創成技術を開発することを目的として、ガスクラスターを出発点として金属や有機物など異種の材料を周囲に被覆し、イオン化・加速するナノ構造多元素複合クラスター蒸着装置の開発を行った。Arガスクラスターに金属Inを被覆する試験を行った結果、ArとInの複合クラスターが生成され、このガス-金属複合クラスターをSi基板上に蒸着することで、ナノサイズの金属ドット形成が可能であることを示した。

研究成果

• [雑誌論文] High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
  • 雑誌名: Transactions of the MRS-J 33 [4] ページ: 1019-1022
  • 査読あり
• [雑誌論文] Energy distribution of high-energy cluster ion beams (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, J. Matsuo
  • 雑誌名: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 261 ページ: 647-650
  • 査読あり
• [雑誌論文] Surface processing with high-energy gas cluster ion beams (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, J. Matsuo
  • 雑誌名: Surface and Coatings Technology 201(19-20 SPEC.ISS.) ページ: 8646-8649
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-speed processing with high-energy SF_6 cluster ion beam (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, J. Matsuo
  • 雑誌名: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 257 ページ: 666-669
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams (2006)
  • 著者名/発表者名: T. Seki and J. Matsuo,
  • 雑誌名: AIP Conf. Proc. 866 ページ: 214-217
  • 査読あり
• [学会発表] 塩素ガスクラスターイオンビームによるスパッタ率のクラスターサイズ依存性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
  • 学会等名: 2008年春季第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-30
• [学会発表] Etching Characteristics with Ar-Cl_2 Gas Mixed Cluster Ion Beam (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
  • 学会等名: The IUMRS International Conference in Asia
  • 発表場所: Nagoya Congress Center, Japan
  • 年月日: 2008-12-11
• [学会発表] 塩素ガスクラスターイオンビームによる高速加工 (2008)
  • 著者名/発表者名: 瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
  • 学会等名: 第9回京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター公開シンポジウム
  • 発表場所: 京都大学
  • 年月日: 2008-10-17
• [学会発表] High-speed processing with Cl_2 cluster ion beam (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
  • 学会等名: 16th International Conference on Ion Beam Modification of Materials
  • 発表場所: Dresden, Germany
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] Investigation of Damage with Cluster Ion Beam Irradiation (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
  • 学会等名: 17th International Conference on Ion Implantation Technology
  • 発表場所: California, USA
  • 年月日: 2008-06-12
• [学会発表] 塩素ガスクラスターイオンビームによる金属材料エッチング特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
  • 学会等名: 2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 日本大学 船橋キャンパス
  • 年月日: 2008-03-29
• [学会発表] Nano-processing with gas cluster ion beams (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Seki
  • 学会等名: 15^<th> International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
  • 発表場所: Mumbai, India
  • 年月日: 20070930-1005
• [学会発表] 塩素ガスクラスターイオンビームの生成 (2007)
  • 著者名/発表者名: 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
  • 学会等名: 第68回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 北海道工業大学
  • 年月日: 20070904-08
• [学会発表] High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
  • 学会等名: MRS-J 2007 Symposium
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2007-12-09
• [学会発表] High-Speed Nano-Processing with Reactive Cluster Ion Beam (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
  • 学会等名: 8th Workshop on Cluster Ion Beam Technology
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2007-11-09
• [図書] クラスターイオンビーム基礎と応用 (2006)
  • 著者名/発表者名: 山田公
  • 総ページ数: 25-51
  • 出版者: 日刊工業新聞社