| 研究概要 |
レゾルシノールと1,5-ペンンタンジアールの縮合反応により、ラダー型環状オリゴマーが選択的に合成されることを見出し、動的共有結合化学反応システムに基づくことを明らかにした。その構造をnoria(ノーリア=水車:ラテン語)と命名した。ノーリアは、ルビジウムを選択的に包接することが判明した。さらに、この反応システムを他のアルカンジアールに適応したところ、遇奇効果が存在することが判明し、選択的ラダーポリマーの新しい合成法をも見出した。合成したnoriaの水酸基に光脱保護反応性基を導入し、電子線(EB)レジストおよび、極端紫外線(EUV)レジスト特性について検討した結果、26〜70nmまでの高解像度が得られることが判明した。これらのことは、次世代レジスト材料として有用であることを示した。
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