申請計画に基づき、UV/VIS分光、偏光、蛍光、電気化学、pHを測定するセンサTEGを設計・試作し、動作検証を行った。それぞれの機能単位センサに関して動作確認を行い、集積化への指針を得た。また、光計測・電気化学・pHに関して液体に浸漬しての測定を実証した。 上述の検証結果に基づき、光計測・電気化学計測機能を集積化したマイクロリアクタ搭載用の小型センサチップの設計・試作を行った。H18年3月より、マイクロリアクタへの組み込みと機能検証を行っていく。 また、LSIチップの動作検証に用いるバッチ型リアクタを製作し、LSIチップをアラインメントするプラットフォームおよびセンサ制御システムを試作した。石英製チャンバに微小パッキン構造を導入し、正確なアラインメントでLSIセンサチップをチャンバ下部の開口部に密着し、バッチ型リアクタにおける化学種の分析を実施することが可能となった。 H19年度以降、本リアクタおよび試作した複合機能センサを用いた、標的化学反応の計測機能実証を行っていく。
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