|
本研究においては、ナノ・マイクロ技術を駆使することにより、空間分解能が10μmに達する高分解電荷密度分布測定システムを構築し、従来の手法では測定不可能であった帯電・放電現象の高分解計測を行い、絶縁物の帯電機構および沿面放電進展機構を解明することを目的とした。具体的な測定ターゲットは、(A)GISモデルコーンスペーサの直流帯電現象と(B)厚さ数μmの誘電体上を進展する沿面放電現象とした。(A)については、既存の表面電位計をべースに、分解能としては現状の最高値であるmmオーダの測定システムを開発し、大気圧SF6ガス中におけるGISモデルスペーサ帯電現象を把握した。(B)半導体プロセス技術を活用し、3種類のMEMSセンサを作成した。いずれも分解能はサブミクロンオーダに達する。これらのセンサの特性を測定し、沿面放電測定への適用可能性を検討した。
|
