三軸回転角速度の検出を目的としたモノリシック振動ジャイロセンサに関する研究

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18760050
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 応用物理学一般
• 研究機関: 山形大学
• 研究代表者: 田村 英樹 山形大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (90396581)
• 研究期間 (年度): 2006 – 2008
• キーワード: ジャイロセンサ / 圧電 / 3軸角速度 / 多軸ジャイロ / 水晶 / モノリシック振動子 / 超音波 / 振動デバイス

研究概要

組込用途などの小形で低コストな回転角速度センサの利用と要求が広がっており、振動型ジャイロセンサは最も有望なタイプであるが、通常は一つのデバイスで一つ無いし二つの回転軸しか検出出来ない。小形化アプローチとして一つのモノリシック振動デバイスにおいて三軸全ての回転角速度が検出されれば有用である。本研究ではフォトリソグラフィならびにエッチング加工で量産可能な水晶Z板より得られる単一振動子を用いて三軸ジャイロ実現の可能性を示した。

研究成果

• [雑誌論文] Basic Study of Threefold Rotatory Symmetric Form Quartz Vibrator for Triaxial Gyrosensor (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Soneda, H. Tamura, Y. Tomikawa and S. Hirose
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys., No.7B Vol.467 ページ: 4709-4713
  • 査読あり
• [雑誌論文] 振動ジャイロセンサの基礎と三軸検出デバイスの概要 (2007)
  • 著者名/発表者名: 田村英樹
  • 雑誌名: MATERIAL STAGE Vol.7 No.7 ページ: 4-8
• [雑誌論文] 三軸ジャイロのための三回対称形水晶振動子の検討 (2006)
  • 著者名/発表者名: 田村英樹, 曽根田敏昭, 富川義朗, 広瀬精二
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告[超音波] Vol.106 No.250 ページ: 31-36
• [学会発表] 圧電振動ジャイロセンサの振動結合評価に関する解析の一手法 (2009)
  • 著者名/発表者名: 田村英樹
  • 学会等名: 日本音響学会2009年春季研究発表会
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2009-03-17
• [学会発表] 三回対称形水晶三軸ジャイロにおける検出信号処理方法の検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 曽根田敏昭, 田村英樹, 広瀬精二
  • 学会等名: 日本音響学会2008年春季研究発表会
  • 発表場所: 千葉工業大学
  • 年月日: 2008-03-18
• [学会発表] Basic Study on a Threefold Rotatory Symmetric Form Quartz Vibrator for Triaxial Gyrosensor (2006)
  • 著者名/発表者名: T. Soneda, H. Tamura, Y. Tomikawa and S. Hirose
  • 学会等名: 第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • 発表場所: 名古屋国際会議場
  • 年月日: 2006-11-16
• [学会発表] 三軸ジャイロ用の三回対称形水晶振動子に関する基礎的検討 (2006)
  • 著者名/発表者名: 田村英樹, 曽根田敏昭, 富川義朗, 広瀬精二
  • 学会等名: 日本音響学会2006年秋季研究発表会
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2006-09-13
• [図書] 第17章: 振動ジャイロセンサ(新しいセンサの上手な使い方・選び方) (2008)
  • 著者名/発表者名: 田村英樹
  • 総ページ数: 251-261
  • 出版者: (株)技術情報協会