2008 年度研究成果報告書

CARSによるダイヤモンド薄膜燃焼合成場の温度分布測定と合成機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号	18760156
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	熱工学
研究機関	沼津工業高等専門学校
研究代表者	新冨雅仁沼津工業高等専門学校, 機械工学科, 講師 (40290754)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	ダイヤモンド薄膜 / 燃焼炎法 / CARS / 先駆物質
研究概要	燃焼炎法によるダイヤモンド薄膜の合成において,合成場の温度分布測定をレーザを用いた燃焼診断装置を使用して行った結果,計算で求めた温度分布とは差異があることが分かった.基板表面温度によりダイヤモンド薄膜の結晶状態は変化することが分かり,化学種濃度計算の比較からは,ダイヤモンドの先駆物質となる化学種は単一のものではなく,基板表面温度によって変化する可能性を見出した.