• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2006 年度 実績報告書

液体原料直接噴霧型有機金属化学気相堆積法の開発及び薄膜作製への応用

研究課題

研究課題/領域番号 18860075
研究機関諏訪東京理科大学

研究代表者

王谷 洋平  諏訪東京理科大学, システム工学部, 助手 (40434485)

キーワード結晶成長 / 電子・電気材料 / 光スイッチ / セラミックス / 薄膜
研究概要

これまでに研究代表者が確立したカクテル原料を用いたスプレーMOCVD法によるPZT薄膜堆積法をPLZT薄膜堆積法へと展開させた。適当な原料仕込み組成に調製したPZT薄膜作製用のカクテル原料を用いることで、香水用アトマイザーとホットプレートを使用した簡便な実験装置を用いて良好な特性を示す強誘電体PZT薄膜の形成に成功していたが、本年度は、カクテル原料の使用が困難な酸化物薄膜堆積にもスプレーMOCVD法の適用範囲を広げることが可能であることを実証すべく、複数台の香水用アトマイザーを使用したPLZT薄膜堆積に関する検討を行った。薄膜堆積系ならびに薄膜焼結系の構築を行った後に、PZT用カクテル原料とLa原料を複数台の香水用アトマイザーを用いて個別に噴霧供給することにより、高度に組成制御したPLZT薄膜を形成した。XRDにより結晶構造を示すと共に、電気特性評価を行いPLZT特有のD-Eヒステリシス特性を示すことにより、良好なPLZT薄膜の形成を示した。これにより複数台の香水用アトマイザーを用いたスプレーMOCVD法による薄膜堆積法の有効性を示した。なお、本研究結果により第19回日本セラミックス協会秋季シンポジウムにおいてシンポジウムポスター奨励賞を受賞した。
また、これと並行して、より生産性に優れた手法となることが期待でき、実用化にも適した方法であると考えられる液体原料噴霧機構に二流体式噴霧機構を用いた装置の構築・立ち上げを進めるとともに、一流体式噴霧機構(インジェクターや超音波霧化器)を採用した手法の検討を行った。

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文 (2件)

  • [雑誌論文] Electro-Optic Properties of Lanthanum-Modified lead Zirconate Titanate Thin Films Epitaxially Grown by the Advanced Sol-Gel Method2007

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Uchiyama
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics vol.46No.11

      ページ: L244-L246

  • [雑誌論文] Development of PLZT Thin Film Depositions for Opto-Nano Electric Applications2006

    • 著者名/発表者名
      K.Uchiyama
    • 雑誌名

      Integrated Ferroelectrics vol.84

      ページ: 129-135

URL: 

公開日: 2008-05-08   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi