• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2007 年度 実績報告書

液体原料直接噴霧型有機金属化学気相堆積法の開発及び薄膜作製への応用

研究課題

研究課題/領域番号 18860075
研究機関諏訪東京理科大学

研究代表者

王谷 洋平  諏訪東京理科大学, システム工学部, 助教 (40434485)

キーワード結晶成長 / 電子・電気材料 / セラミックス / 薄膜 / 有機化学気相堆積法
研究概要

これまでに研究代表者が提唱してきたカクテル原料を用いたスプレーMOCVD法によるPZT薄膜堆積法をPLZT薄膜堆積法へと展開させることにより、スプレーMOCVD法をより広範な材料の薄膜形成に適応可能とさせるべく、特に微小量添加物質の組成制御方法について研究を進めた。適当な原料仕込み組成に調製したPZT薄膜作製用のカクテル原料を用いることで、香水用アトマイザーとホットプレートを使用した簡便な実験装置を用いて良好な特性を示す強誘電体PZT薄膜の形成に成功しており、昨年度は、カクテル原料の使用が困難な酸化物薄膜堆積にもスプレーMOCVD法の適用範囲を広げることが可能であることを実証すべく、複数台の香水用アトマイザーを使用したPLZT薄膜堆積に関する検討を行い、PZT用カクテル原料とLa原料を複数台の香水用アトマイザーを用いて個別に噴霧供給することにより、PLZT薄膜を形成し、XRDにより結晶構造を示すと共に、電気特性評価を行いPLZT特有のD-Eヒステリシス特性を示すことにより、良好なPLZT薄膜の形成を示した。本年度はPLZT形成の際の微小量添加物質であるLaの組成制御法について検討を行い、原料溶液中のLa濃度調整による組成制御よりも高濃度La溶液を使用したLa原料溶液供給時間の調整による制御が優れていることを明らかにした。これにより複数台の香水用アトマイザーを用いたスプレーMOCVD法による薄膜堆積法における微小量添加物質の組成制御法の指針を示した。また、これと並行して、本手法の実用化に向けて、原理に合致する本成膜手法に最適な液体原料噴霧方法の検討を進めた。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2007

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (2件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Fabrication of Ferroelectric Pb(Zr,Ti)O_3 Thin Films by Spray Metalorganic Chemical Vapor Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      Yohei Otani
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 46

      ページ: L706-L708

    • 査読あり
  • [学会発表] Fabrication of Lead-based Ferroelectric Thin Films by Spray-MOCVD2007

    • 著者名/発表者名
      Yohei Otani
    • 学会等名
      13th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 発表場所
      Awaji Island, Japan
    • 年月日
      2007-11-06
  • [学会発表] スプレーMOCVD法による微量置換元素供給法の検討2007

    • 著者名/発表者名
      王谷 洋平
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道札幌市北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-15
  • [図書] 無機材料の表面処理・改質技術と将来展望 -金属, セラミックス, ガラス-2007

    • 著者名/発表者名
      内山 潔
    • 総ページ数
      179-187
    • 出版者
      シーエムシー出版

URL: 

公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi