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2010 年度 研究成果報告書

レーザー補助広角3次元アトムプローブの開発と実デバイスの3次元原子レベル解析

研究課題

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研究課題/領域番号 18GS0204
研究種目

学術創成研究費

配分区分補助金
研究機関東京大学

研究代表者

尾張 真則  東京大学, 環境安全研究センター, 教授 (70160950)

研究分担者 谷口 昌宏  金沢工業大学, バイオ・化学部応用化学科, 教授 (30250418)
野島 雅  東京理科大学, 総合研究機構, 講師 (50366449)
連携研究者 間山 憲仁  東京工業大学, 資源化学研究所, 産学官連携研究員 (40508131)
岩田 達夫  三重大学, 極限ナノエレクトロニクスセンター, 特定事業研究員 (20119647)
研究期間 (年度) 2006 – 2010
キーワードナノ構造化学 / 表面・界面ナノ構造
研究概要

物質中の数百ナノメートル立方に存在する原子の種類と位置を3次元で視覚化できる分析法3次元アトムプローブ(3DAP)顕微鏡を従来の問題点を解決することによって確立した。この方法を用いて、単体金属試料や炭素系材料などを分析し、レーザーイオン化機構に関する新たな知見を得るとともに、実デバイスの3次元原子レベル解析への基礎を築いた。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2010 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (2件) 図書 (2件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文]2010

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, T.Iwata, M.Nojima, M.Taniguchi, M.Owari, 他10名
    • 雑誌名

      Surf.Interface Anal. 42

      ページ: 1616-1621

    • 査読あり
  • [雑誌論文]2010

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, H.Yoshida, T.Iwata, K.Sasakawa, A.Suzuki, Y.Hanaoka, Y.Morita, A.Kuroda, M.Owari
    • 雑誌名

      Diam.Relat.Mater. 19

      ページ: 946-949

    • 査読あり
  • [雑誌論文]2010

    • 著者名/発表者名
      M.Taniguchi, O.Nishikawa
    • 雑誌名

      e-JSSNT 8

      ページ: 69-73

    • 査読あり
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      N.Mayama, Y.Kajiwara, S.Mikami, S.Ito, T.Kaneko, T.Iwata, M.Owari
    • 雑誌名

      e-JSSNT 7

      ページ: 35-38

    • 査読あり
  • [学会発表]2009

    • 著者名/発表者名
      M.Owari
    • 学会等名
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices(招待講演)
    • 発表場所
      Hawaii, USA.
    • 年月日
      2009-12-09
  • [学会発表]2008

    • 著者名/発表者名
      M.Owari
    • 学会等名
      The 10^<th> International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University (SISS-10)(招待講演)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan.
    • 年月日
      20080700
  • [図書] イオンを用いた新たなナノ計測への展開(「アトムプローブの新たな展開」電子情報通信学会「知識ベース」、S2郡(ナノ・量子・バイオ)-4編(ナノ加工・計測技術)-3章(ナノ計測技術-ナノプローブ以外)-3.4)2009

    • 著者名/発表者名
      間山憲仁、尾張真則
    • 出版者
      オーム社(Web公開)
  • [図書] 第5版実験化学講座24(表面・界面)(第3章11節FEM, FIM,アトムプローブ)2007

    • 著者名/発表者名
      谷口昌宏
    • 総ページ数
      150
    • 出版者
      日本化学会編(株)丸善
  • [産業財産権] アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置2007

    • 発明者名
      尾張真則, 皆藤孝, 野島雅
    • 権利者名
      尾張真則, 皆藤孝, 野島雅
    • 産業財産権番号
      特許(発明),特願2007-279319
    • 出願年月日
      2007-10-26
  • [産業財産権] 試料及び電極ホルダユニット、位置調整台、並びに試料及び電極の装置への組付方法2007

    • 発明者名
      尾張真則, 野島雅,谷口昌宏, 間山憲仁, 足立達哉
    • 権利者名
      尾張真則, 野島雅,谷口昌宏, 間山憲仁, 足立達哉
    • 産業財産権番号
      特許(発明),特願2007-279318
    • 出願年月日
      2007-10-26

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公開日: 2012-01-26   更新日: 2015-07-02  

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