研究課題
基盤研究(B)
超精密光学自由曲面形状計測技術の確立を目的として,フェムト秒レーザと分光素子で生成する多元情報マルチビームを光源として用い,空間領域で一括捕捉した反射光群から周波数領域において各ビーム固有の光周波数をもとにビーム位置および局所的傾斜角情報を抽出する,次元変換型マルチビーム角度センサのコンセプトを提案した.理論検討結果をもとにフェムト秒レーザ光源を含む実験光学系を構築し,実験的検討で提案コンセプトの実現可能性を明らかにした.
精密ナノ計測・制御
本研究での理論的・実験的検討結果から,次元変換型マルチビーム角度センサによって,傾斜角およびビーム位置という空間領域の多元情報を周波数領域で一括取得できることが実証され,その情報を活用した高精度自由曲面形状計測の実現可能性が見いだされた.角度情報を利用した高精度計測手法は国内外で注目を集めており,その高速化と測定不確かさ低減が課題となっているが,今後,光学系の拡張により本手法での2軸方向のスロープマップ同時取得が実現すると,学術的・工業的により高いインパクトを与える技術になるものと期待される.