| 研究課題/領域番号 |
18H01429
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21010:電力工学関連
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
山形 幸彦 九州大学, 総合理工学研究院, 准教授 (70239862)
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| 研究分担者 |
嶋田 賢男 津山工業高等専門学校, 総合理工学科, 准教授 (10628845)
眞鍋 由雄 津山工業高等専門学校, 総合理工学科, 特命教授 (30779898)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| キーワード | パルスレーザー / ラマン散乱 / GaN / LEDモジュール / ジャンクション温度 / 2次元計測 / 歪み / 窒化物半導体 |
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| 研究成果の概要 |
パルスレーザーラマン散乱による窒化物半導体デバイスの温度／歪みのリモート計測法の開発を目指した．高感度，高波長分解計測システム構築とスペクトルフィッティングによる波長精度向上により，従来の5倍の精度±4゜Cを達成し，動作中の照明用LEDモジュールで熱抵抗値を初めて実測した．また，LEDモジュールの動作条件が温度分布や発光効率等の光放射特性に及ぼす影響を一部定量的に解明した．Vf法，熱電対法がLEDチップ毎に適用可能な標準LEDモジュールでの計測と熱シミュレーションとの比較検討により，各法の校正とデバイス開発の際のキーパラメータの抽出を行い，2D分布計測法開発の課題点とそれらの解決法を示した．
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| 自由記述の分野 |
レーザー応用計測
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
パルスレーザーラマン散乱（PLRS）法による窒化物半導体デバイスの温度／歪みのリモート計測法の可能性が示せたことは学術的，産業的に意義が大きい．今後PLRS法による面内方向，深さ方向の同時的2D分布計測には更なる測定精度の向上と可測範囲の拡大が必要となるが，これらはパルスレーザーの波長安定化と狭帯域化，分光システムの波長決定精度及び受光感度の向上により達成可能である．さらに，Vf法や熱電対法により熱シミュレーションに必要な実計測データの提供やデータ取り扱いのキーポイントも示せた事から，窒化物半導体デバイスの温度／歪みの設計に重要となる成果を示せた．
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