|
本研究は近接場光による波数励起および二次高調波発生を利用したSi受光器の検出効率のさらなる向上を目的とする。これを実現するために、Si受光デバイスを作製し、近接場光発生源として金ナノ微粒子を塗布することで、受光検出効率の検討を行った。
作製したSi受光デバイス構造を用いて光電流の増加率の測定を行った。作製した構造に対して金微粒子を塗布し、受光感度特性を測定した。その結果、塗布する前と比較して、受光感度特性はいずれの場合でもバンド端近傍で高くなる傾向が得られた。金微粒子塗布前と比較して、最大で約20倍程度の受光感度増大を得ることに成功した。
|
